Ion Source離子源
參考價(jià) | ¥ 100000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 德國韋氏納米系統(tǒng)有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/6/24 16:05:59
- 訪問次數(shù) 41
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Ion Source離子源適用于各種應(yīng)用的高亮度等離子離子源
等離子離子源 LMIS 和 GFIS 是三種常見的離子源類型。LMIS 和 GFIS 具有出色的源亮度。因此,它們被廣泛用于高分辨率離子束成像和微加工應(yīng)用。然而,LMIS 和 GFIS 的總電流比等離子離子源低許多數(shù)量級(jí)。如果特征尺寸大于 50 nm,則等離子離子源可以實(shí)現(xiàn)比 LMIS 和 GFIS 高得多的通量。
等離子離子源可以通過改變工藝氣體產(chǎn)生不同種類的離子。此外,等離子離子源能夠與質(zhì)量過濾器結(jié)合使用產(chǎn)生負(fù)離子種類。
我們?cè)跒榇髮W(xué)和工業(yè)的研究實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)定制的高亮度等離子離子源和離子光學(xué)柱方面擁有豐富的經(jīng)驗(yàn)。請(qǐng)聯(lián)系我們討論您的要求。