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合肥重光電子科技有限公司
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桌上型成像儀

參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號MSD-150D

品       牌其他品牌

廠商性質生產商

所  在  地合肥市

更新時間:2025-05-22 10:29:37瀏覽次數:146次

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桌上型成像儀MSD-150D主要應用于曝光后的顯影工藝。該設備主要由顯影腔單元、自動擺臂單元、以及供液系統、主軸系統、控制系統及排液系統等組成,整機采用框架結構,外表為鏡面不銹鋼,無塵且不吸附顆粒,工作方式為手動上下片,自動完成顯影工藝。
桌上型成像儀顯影單元基片采用真空吸附加四周擋板固定方式,采用進口伺服電機,保證轉速、加速度、控制精度高,重復性好;供液系統采用廠務或者壓力容器直接供液方式。

桌上型成像儀MSD-150D用于對顯影均勻性和一致性要求較高的表面處理工藝,適合硅片、磷化銦、碳化硅、氮化鎵等。主要應用于4、6寸晶圓及方片.適合高校、研究所和企業客戶。

本司也提供8寸、12寸桌上型顯影機,更多功能如吹氣、背洗等請咨詢。

桌上型成像儀技術規格:

項目

規格

 

 

主體

外殼材質:鏡面不銹鋼

處理樣品尺寸:6寸晶圓以內

承盤:PTFE

馬達:

轉速:20-3000 R.P.M

搖臂:自動

操作界面:7寸觸摸屏

 

顯影裝置

藥液裝置:

顯影 x1(控溫可選)

DIW  x1

 

 

控制系統

系統: PLC

使用接口:7寸觸屏

配方:手動和自動模式

編程 : 50 組 20 步

 

 

安全裝置

晶圓承盤真空滲液保護:

真空檢知:

數字設定:真空值下限保護

運行結束報警提示

 

 

附件

真空泵x1

顯影罐x1

去離子水罐x1

廢液桶x1

真空吸盤x1

 

 

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