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合肥重光電子科技有限公司
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勻膠機

參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號MSC系列

品       牌其他品牌

廠商性質生產商

所  在  地合肥市

更新時間:2025-05-22 10:27:06瀏覽次數:147次

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勻膠機設備簡介:
桌上型旋轉涂布機,用于對均勻性要求較高的表面涂布工藝,將光刻膠溶液手動涂覆在硅片、磷化銦、碳化硅、氮化鎵、鈮酸鋰等基片上形成薄膜,主要應用于12寸以內樣品。

勻膠機產品特點:

桌上型旋轉涂布機外觀鏡面不銹鋼,腔體PTFE材質,核心部件進口品牌,板件和機加用料扎實,使整機環保、穩定、皮實、耐用和更有高級感。

均勻性高:可達1%以內,減少因設備性能不足導致實驗數據偏差過大,從而影響整個工藝。

安全性高:電氣獨立集成機身側面,避免因腔體漏液到設備內部導致短路風險,真空負壓數值顯示和低真空報警,避免因負壓不足帶來飛片風險。

性價比高:真材實料,核心部件均為進口,用心做好每一款產品。

勻膠機產品參數:

 

桌上型旋轉涂布機

供電電壓

AC220V,50Hz

操作方式

7寸觸摸屏

轉速

20~10000rpm

滴膠方式

手動滴膠

加速度

350~10000rpm/s

編程

可編程50組20步

減速度

350~10000rpm/s

均勻性

1%

轉速分辨率

1rpm

抽氣接口

φ6mm快擰接口

單步時間

3000s

整機尺寸

500mm×500mm×320mm

基片尺寸

直徑≤8英寸(200mm)

整機重量

40kg

腔體材質

PTFE

核心部件品牌

松下、西門子、威綸通、三洋、SMC、明緯等

排氣系統

真空泵

干式機械泵

 

抽氣速率

50L/min

 

供電電源

AC220V 50/60Hz

 

 

更多選擇可咨詢,如嵌入式設計、方片吸盤的定制等。

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