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所在地：日本
貨物所在地：四川成都市
更新時間：2025/6/19 17:00:31
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Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG420MI
Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG420MI
渦輪分子泵作為高真空技術(shù)的核心設(shè)備，其性能直接影響整個真空系統(tǒng)的表現(xiàn)。隨著中國在高科技領(lǐng)域的快速發(fā)展，渦輪分子泵的國產(chǎn)化進程正在加速，性能已逐步接近先進水平。在半導(dǎo)體設(shè)備自主可控的戰(zhàn)略背景下，渦輪分子泵的研發(fā)與制造已成為國家科技競爭力的重要體現(xiàn)。
對于易發(fā)生反應(yīng)產(chǎn)物積累的器件，該系列采用我們的保溫結(jié)構(gòu)和自熱機構(gòu)，顯著降低反應(yīng)產(chǎn)物的沉積速率。
傳統(tǒng)磁浮軸承渦輪分子泵反應(yīng)產(chǎn)物的對策
一種加熱包括目標部分在內(nèi)的整個周圍區(qū)域并分散熱量的方法。 它不能被有效地使用。
? 目標區(qū)域外的熱效應(yīng)
TGkineMI-B 系列的措施
除了通過外部加熱器提高溫度外，還可以有效地利用泵內(nèi)部產(chǎn)生的吸入氣體產(chǎn)生的摩擦熱，有效地提高氣體接觸部分的溫度
，減少外部加熱器的輸出功率，提高節(jié)能效果！
?減少對主要部件的熱影響，減少對泵的損傷。
?保持最佳溫度，防止在排氣管中產(chǎn)生產(chǎn)品。
用
半導(dǎo)體、FPD、MEMS 制造等蝕刻設(shè)備
易產(chǎn)生反應(yīng)產(chǎn)物的工藝設(shè)備
性能優(yōu)勢分析
與傳統(tǒng)設(shè)備對比
抽速提升50%（同體積）
能耗降低40%
維護周期延長3倍
關(guān)鍵性能指標
極限真空度（10?1? P）
抽氣速率（10-5000 m3/h）
噪音水平（<65 dB）
真空泵是通過機械、物理或化學(xué)方法從密閉容器中抽出氣體以獲得真空環(huán)境的專業(yè)設(shè)備。
高斯摩(成都)國際貿(mào)易有限公司 - 主營產(chǎn)品： 主要經(jīng)營光學(xué)設(shè)備、電子計測、科學(xué)儀器、機械加工設(shè)備、環(huán)境試驗 ...
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