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Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG420MI
Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG420MI
渦輪分子泵作為高真空技術的核心設備，其性能直接影響整個真空系統的表現。隨著中國在高科技領域的快速發展，渦輪分子泵的國產化進程正在加速，性能已逐步接近先進水平。在半導體設備自主可控的戰略背景下，渦輪分子泵的研發與制造已成為國家科技競爭力的重要體現。
對于易發生反應產物積累的器件，該系列采用我們的保溫結構和自熱機構，顯著降低反應產物的沉積速率。
傳統磁浮軸承渦輪分子泵反應產物的對策
一種加熱包括目標部分在內的整個周圍區域并分散熱量的方法。 它不能被有效地使用。
? 目標區域外的熱效應
TGkineMI-B 系列的措施
除了通過外部加熱器提高溫度外，還可以有效地利用泵內部產生的吸入氣體產生的摩擦熱，有效地提高氣體接觸部分的溫度
，減少外部加熱器的輸出功率，提高節能效果！
?減少對主要部件的熱影響，減少對泵的損傷。
?保持最佳溫度，防止在排氣管中產生產品。
用
半導體、FPD、MEMS 制造等蝕刻設備
易產生反應產物的工藝設備
性能優勢分析
與傳統設備對比
抽速提升50%（同體積）
能耗降低40%
維護周期延長3倍
關鍵性能指標
極限真空度（10?1? P）
抽氣速率（10-5000 m3/h）
噪音水平（<65 dB）
真空泵是通過機械、物理或化學方法從密閉容器中抽出氣體以獲得真空環境的專業設備。
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