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當(dāng)前位置：> 供求商機> Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG3213
所在地：日本
貨物所在地：四川成都市
更新時間：2025/6/19 16:39:02
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Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG3213
Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG3213
渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動量交換來實現(xiàn)抽氣作用的高真空泵。1958年由德國科學(xué)家貝克（W. Becker）研制成功，現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設(shè)備之一。渦輪分子泵通過轉(zhuǎn)子葉片以超音速（通常300-600m/s）運動，直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度，從而在進氣口端產(chǎn)生高真空環(huán)境。
| 進氣法蘭 | VG300 ISO-B320 標(biāo)準(zhǔn) | |
| 抽速 | N2 （升/秒） | 3200 |
| N2 （帶保護網(wǎng)） （升/秒） | 3000 | |
| H2 （升/秒） | 2500 | |
| 最大壓縮比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 6×103 | |
| 極限壓力 | VG/ISO-B （帕） | <1×10-6 |
| VG/ISO-B （托） | <7.5×10-9 | |
| 最大氣體流速※1 | N2 （SCCM） | 543 |
| 啟動時間 | （分鐘） | 10-15 |
| 停機時間 | （分鐘） | 25-30 |
| 允許的輔助壓力 | （Pa / Torr） | 270/2 |
| 推薦的輔助泵 | （升/分鐘） | 1500 |
| 潤滑油量 | （毫升） | 260 |
| 安裝姿勢 | 垂直 （±10°） | |
| 質(zhì)量 | （公斤） | 100 |
| 控制器類型 | TC3213 系列 | |
用
?半導(dǎo)體制造
?電子槍排氣、離子源排氣
?FPD 制造
?表面處理、表面改性
?各種電子元件的制造
?管材、光學(xué)元件的制造
?加速器、放射線設(shè)施、聚變研究
?熱處理
?研發(fā)
* 對于清潔工藝，請選擇 TG-F 系列、TG-M 系列或 TGkine 系列。
技術(shù)發(fā)展趨勢
軸承技術(shù)革新
磁懸浮軸承的普及應(yīng)用
混合陶瓷軸承優(yōu)化
自潤滑軸承系統(tǒng)
材料與制造工藝
碳纖維復(fù)合材料轉(zhuǎn)子
3D打印葉輪技術(shù)
超精密加工工藝
智能化發(fā)展
物聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程監(jiān)控
AI預(yù)測性維護
數(shù)字孿生技術(shù)應(yīng)用
性能提升方向
更高轉(zhuǎn)速設(shè)計（>90000rpm）
更寬的工作壓力范圍
提高輕質(zhì)氣體抽速
高斯摩(成都)國際貿(mào)易有限公司 - 主營產(chǎn)品： 主要經(jīng)營光學(xué)設(shè)備、電子計測、科學(xué)儀器、機械加工設(shè)備、環(huán)境試驗 ...
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