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Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG3213
Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG3213

地:日本

貨物所在地:四川成都市

更新時間:2025/6/19 16:39:02

訪問次數(shù):8

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址:
四川省成都市高新區(qū)天府大道中段500-1號天祥廣場C座4527室
化:
www.cosimoinc.com.cn
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供應(yīng)簡介
渦輪分子泵(Turbomolecular Pump)是一種通過高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動量交換來實現(xiàn)抽氣作用的高真空泵。1958年由德國科學(xué)家貝克(W. Becker)研制成功,現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設(shè)備之一。


詳細介紹

Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG3213

Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG3213

渦輪分子泵(Turbomolecular Pump)是一種通過高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動量交換來實現(xiàn)抽氣作用的高真空泵。1958年由德國科學(xué)家貝克(W. Becker)研制成功,現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設(shè)備之一。渦輪分子泵通過轉(zhuǎn)子葉片以超音速(通常300-600m/s)運動,直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度,從而在進氣口端產(chǎn)生高真空環(huán)境。

進氣法蘭VG300
ISO-B320 標準
抽速N2 (升/秒)3200
N(帶保護網(wǎng)) (升/秒)3000
H2 (升/秒)2500
最大壓縮比N21×108
H26×103
極限壓力VG/ISO-B (帕)<1×10-6
VG/ISO-B (托)<7.5×10-9
最大氣體流速※1N2 (SCCM)543
啟動時間(分鐘)10-15
停機時間(分鐘)25-30
允許的輔助壓力(Pa / Torr)270/2
推薦的輔助泵(升/分鐘)1500
潤滑油量(毫升)260
安裝姿勢垂直 (±10°)
質(zhì)量(公斤)100
控制器類型TC3213 系列



?半導(dǎo)體制造

?電子槍排氣、離子源排氣

?FPD 制造

?表面處理、表面改性

?各種電子元件的制造

?管材、光學(xué)元件的制造

?加速器、放射線設(shè)施、聚變研究

?熱處理

?研發(fā)

* 對于清潔工藝,請選擇 TG-F 系列、TG-M 系列或 TGkine 系列。

技術(shù)發(fā)展趨勢

軸承技術(shù)革新

磁懸浮軸承的普及應(yīng)用

混合陶瓷軸承優(yōu)化

自潤滑軸承系統(tǒng)

材料與制造工藝

碳纖維復(fù)合材料轉(zhuǎn)子

3D打印葉輪技術(shù)

超精密加工工藝

智能化發(fā)展

物聯(lián)網(wǎng)遠程監(jiān)控

AI預(yù)測性維護

數(shù)字孿生技術(shù)應(yīng)用

性能提升方向

更高轉(zhuǎn)速設(shè)計(>90000rpm)

更寬的工作壓力范圍

提高輕質(zhì)氣體抽速

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