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當(dāng)前位置:> 供求商機> Osaka大阪真空 干式真空泵 ER100D
所在地:日本
貨物所在地:四川成都市
更新時間:2025/6/19 16:26:04
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干式真空泵(Dry Vacuum Pump)是一種無需任何工作液(油或水)參與抽氣過程的機械真空泵,代表了當(dāng)今真空技術(shù)發(fā)展的前沿方向。這類泵通過在泵腔內(nèi)直接機械運動來實現(xiàn)氣體的壓縮和排出,避免了工作介質(zhì)對真空環(huán)境的污染。干式真空泵技術(shù)起源于20世紀80年代,隨著半導(dǎo)體、光伏等精密制造業(yè)對清潔真空環(huán)境需求的增長而迅速發(fā)展成熟。
干式真空泵的典型應(yīng)用領(lǐng)域
(一)半導(dǎo)體與微電子制造
晶圓加工過程中的刻蝕、CVD、PVD設(shè)備
離子注入機的真空系統(tǒng)
光刻機的環(huán)境控制
封裝測試環(huán)節(jié)的真空處理
(二)光伏與平板顯示
太陽能電池鍍膜生產(chǎn)線
LCD/OLED面板制造設(shè)備
真空層壓工藝
(三)化工與制藥
高純度藥品的真空干燥
反應(yīng)釜的抽真空系統(tǒng)
溶劑回收裝置
無菌包裝生產(chǎn)線
(四)科研與制造
電子顯微鏡配套系統(tǒng)
空間環(huán)境模擬裝置
核聚變實驗設(shè)備
精密光學(xué)元件鍍膜
(五)新興技術(shù)領(lǐng)域
鋰離子電池真空干燥
氫能源制備與儲存
碳捕集與封存技術(shù)
3D打印金屬粉末處理
型 | ER100D/ER100DC (耐腐蝕型) | |
抽速 (L/min) | 1670 | |
測試極限壓力 (Pa) | 5.0 | |
極限壓力下的功耗 (W) | 400 | |
權(quán)力 | 電壓 (V) | 200-220 |
頻率 (Hz) | 50/60 | |
相數(shù) | 三個階段 | |
電源容量 (kVA) | 3.2 | |
N2 吹掃氣體流速 (Pa·m3/s) | 17-20 | |
冷卻方式 | 水冷式 | |
冷卻水量 (L/min) | 1.5-3.0 | |
冷卻水溫度 (°C) | 最多 30 個 | |
重量 (kg) | 60 |
■ 在節(jié)能、體積小、輕量化方面是同類產(chǎn)品中干式真空泵之一。
極限壓力下的功耗:400W 占地面積
:0.11m2
重量:60 kg
■ 根據(jù)用途提供產(chǎn)品規(guī)格。
ER100D:非常適合輕負載排氣和清潔工藝
ER100DC:使用具有高耐腐蝕性的材料來承受腐蝕性氣體排放
高斯摩(成都)國際貿(mào)易有限公司 - 主營產(chǎn)品: 主要經(jīng)營光學(xué)設(shè)備、電子計測、科學(xué)儀器、機械加工設(shè)備、環(huán)境試驗 ...
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