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當(dāng)前位置:> 供求商機> Osaka大阪真空 干式真空泵 ER100D

Osaka大阪真空 干式真空泵 ER100D
Osaka大阪真空 干式真空泵 ER100D

地:日本

貨物所在地:四川成都市

更新時間:2025/6/19 16:26:04

訪問次數(shù):4

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供應(yīng)簡介
干式真空泵(Dry Vacuum Pump)是一種無需任何工作液(油或水)參與抽氣過程的機械真空泵,代表了當(dāng)今真空技術(shù)發(fā)展的前沿方向。這類泵通過在泵腔內(nèi)直接機械運動來實現(xiàn)氣體的壓縮和排出,避免了工作介質(zhì)對真空環(huán)境的污染。


詳細介紹

干式真空泵(Dry Vacuum Pump)是一種無需任何工作液(油或水)參與抽氣過程的機械真空泵,代表了當(dāng)今真空技術(shù)發(fā)展的前沿方向。這類泵通過在泵腔內(nèi)直接機械運動來實現(xiàn)氣體的壓縮和排出,避免了工作介質(zhì)對真空環(huán)境的污染。干式真空泵技術(shù)起源于20世紀80年代,隨著半導(dǎo)體、光伏等精密制造業(yè)對清潔真空環(huán)境需求的增長而迅速發(fā)展成熟。

干式真空泵的典型應(yīng)用領(lǐng)域

(一)半導(dǎo)體與微電子制造

晶圓加工過程中的刻蝕、CVD、PVD設(shè)備

離子注入機的真空系統(tǒng)

光刻機的環(huán)境控制

封裝測試環(huán)節(jié)的真空處理

(二)光伏與平板顯示

太陽能電池鍍膜生產(chǎn)線

LCD/OLED面板制造設(shè)備

真空層壓工藝

(三)化工與制藥

高純度藥品的真空干燥

反應(yīng)釜的抽真空系統(tǒng)

溶劑回收裝置

無菌包裝生產(chǎn)線

(四)科研與制造

電子顯微鏡配套系統(tǒng)

空間環(huán)境模擬裝置

核聚變實驗設(shè)備

精密光學(xué)元件鍍膜

(五)新興技術(shù)領(lǐng)域

鋰離子電池真空干燥

氫能源制備與儲存

碳捕集與封存技術(shù)

3D打印金屬粉末處理

ER100D/ER100DC (耐腐蝕型)
抽速 (L/min)1670
測試極限壓力 (Pa)5.0
極限壓力下的功耗 (W)400
權(quán)力電壓 (V)200-220
頻率 (Hz)50/60
相數(shù)三個階段
電源容量 (kVA)3.2
N2 吹掃氣體流速 (Pa·m3/s)17-20
冷卻方式水冷式
冷卻水量 (L/min)1.5-3.0
冷卻水溫度 (°C)最多 30 個
重量 (kg)60


■ 在節(jié)能、體積小、輕量化方面是同類產(chǎn)品中干式真空泵之一。

極限壓力下的功耗:400W 占地面積

:0.11m2

重量:60 kg

■ 根據(jù)用途提供產(chǎn)品規(guī)格。

ER100D:非常適合輕負載排氣和清潔工藝

ER100DC:使用具有高耐腐蝕性的材料來承受腐蝕性氣體排放

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