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當前位置：合肥重光電子科技有限公司>>去膠清洗>> CGST3100全自動干法去膠機
產品介紹：
1設備名稱：全自動干法去膠機
2設備型號：CGST3100
3全自動干法去膠機設備原理：ICP
4晶圓尺寸Wafer size: 8 inch（4或6 inch兼容）
5晶圓材料Wafer material: Si基（若為其他材料需寫明）
| 設備主體 | |
| 設備尺寸 | L1300×W1190×H1847mm |
| 設備重量 | 800Kg |
| 設備電源 | AC220V，3P,50/60Hz，5線，16A |
| 主機軟件 | Windows 10 |
| 主機通訊 | SECS/GEM |
| 主機硬盤 | 單/雙 |
| 工藝腔 | ICP，單腔 |
| 料盒類型 | 開放式（Open cassette） |
| 晶圓單次處理容量 | 一片 |
| 機械手 | 3軸（單/雙臂選配） |
| 機械手 | Mapping(選配） |
| 每小時出片量（WPH) | 35片/小時 (1分鐘標準配方) |
| 加熱盤 | 鋁合金，控溫：50-250℃ |
| 等離子發生系統 | |
| 電源類型 | 射頻 |
| 電源功率 | 0~1000W |
| 電源頻率 | 13.56MHz |
| 匹配器 | 自動匹配 |
| 真空系統 | |
| 工藝腔 | 鋁合金 |
| 腔門 | 門閥，氣動 |
| 真空管路 | 全不銹鋼管路，以及高強度真空波紋管 |
| 蝶閥 | 控壓精度：±50 mtorr |
| 真空管路開關 | 角閥，氣動 |
| 真空泵 | 干泵：600m3/h |
| 真空計 | 0.001-10 Torr |
| 腔體真空開關 | 750 Torr |
| 前級管道真空開關 | 100 Torr |
| 氣體系統 | |
| 工藝氣體系統 | 氣柜，模塊化（GAS BOX) |
| 氣柜箱體材質 | 不銹鋼 |
| 氣柜排氣 | 負壓，酸排 |
| 氣柜配置 | 過濾器，手動閥，流量計，氣動閥，壓差計，調速閥，連鎖開關 |
| 氣體路數 | |
| 氣路1 | O2 5SLM |
| 氣路2 | N2 1SLM |
| 氣路3 | CF4 100SCCM |
| 氣路4 | 4%H2/N2 1SLM |
| 氣路5 | N2 慢/快速破真空 |
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