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HORIBA的S48系列高精度(RS精度)/快速響應質量流量控制器（Mass Flow Controller，簡稱MFC）廣泛應用于半導體制造、太陽能電池生產、...

SEC-E 系列數字質量流量控制器具有可靠的熱傳感器和電磁閥，可實現高水平的氣流控制。作為一種多功能組件，SEC-E 系列質量流量控制器可用于各種行業。

S600系列數字質量流量控制器適用于各種行業和應用。S600系列可以控制廣泛的流量：從3 SCCM到500 SLM，并具有各種類型的通信可用，即模擬、RS485...

壓差式質量流量控制器 D500這款技術優良的質量流量控制器具備壓差檢測功能和壓電驅動閥。 CRITERION D500 適用于一系列優良的半導體制程，具有壓力補...

HORIBA SEC-N100系列數字式質量流量控制器適用于各種行業和應用。該質量流量控制器可以控制不同范圍的流量：10 SCCM 至 1000 SLM。

HORIBA D700MG 是一款高響應壓力非敏感質量流量控制器，專為半導體及相關行業中對高精度、快響應和耐腐蝕性有嚴格要求的氣體輸送工藝而開發。

D700T是為關鍵半導體制造工藝設計的性能優秀的壓力不敏感質量流量控制器。D700T采用了HORIBA CRITERION基于壓力的流量測量和控制技術，以提供行...

新型壓力補償質量流量控制器SEC-Z700S 系列配備了新開發的熱傳感器和壓力補償功能，可實現穩定的流量控制。集成壓力測量功能降低了氣體輸送系統的成本、尺寸和復...