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ULVAC愛發科 氣體分析儀
ULVAC愛發科 氣體分析儀
愛發科的新型殘余氣體分析儀和過程氣體監測儀 （RGA） 在高壓（小于 1 Pa）下具有高精度和高分辨率，具有革命性的簡單性和易用性。
這是過程監控新標準的出現，它體現了各種生產線上設備工程師的聲音。
它是濺射設備的過程控制（質量改進、產量提高）的理想選擇。
長處
濺射工藝的理想選擇
空氣泄漏監測
殘余水分管理
過程監控不需要差速排氣系統：可以測量 1 Pa 或更低，可以節省空間。
能夠進行高靈敏度泄漏測試 （CGM2-052），增強泄漏測試功能
可以進行全壓測量
集成顯示設計：無需計算機即可進行測量
易于使用 - 一鍵式功能：每個人都可以輕松，無需復雜的作
標配 Qulee QCS 軟件
符合 CE 標準
用
用于濺射設備中的殘余氣體分析、過程監測和雜質 （H2O） 控制
用于濺射設備的泄漏測試
規范
分辨率
M/△M=1M（10% P.H.）
| 型 | CGM2-051 | CGM2-101 系列 | CGM2-052 | CGM2-102 系列 |
| 質量分離法 | 四極桿質譜儀 | |||
| 質量數范圍 | 1~50 阿姆 | 1~100 阿姆 | 1~50 阿姆 | 1~100 阿姆 |
| 探測器 | 法拉第杯 | 二次電子倍增管/法拉第杯 | ||
| 敏感性 | 0.1uA/帕 | 0.1mA/帕 | ||
| 最小感應分壓 | 1x10-7帕 | 1x10-10帕 | ||
| 最大工作壓力 | 2蹲 | 2Pa（FC）1x10-2帕斯卡（SEM） | ||
| 線性 | 1帕 | |||
| 總壓力測量功能 | 和 | |||
| DEGAS 功能 | 是 / 電擊分離方式，300V / 5mA | |||
| 一鍵式泄漏檢查 | 是 / He /H2O / N2 / O2 / 任何氣體 | |||
| 電源電壓 | DC24V±10% 50W | |||
| 最高烘烤溫度 （連接傳感器單元時） | 120°C | |||
| 最高烘烤溫度 （拆下傳感器單元時） | 250°C | |||
| 工作溫度范圍 | 10~40°C | |||
| 接口 | 以太網 | |||
| 軟件 | 兼容 Qulee QCS Ver.4.2 或更高版本 （Windows 8/10/11） | |||
| 法規遵從性 | CE | |||
高斯摩(成都)國際貿易有限公司 - 主營產品： 主要經營光學設備、電子計測、科學儀器、機械加工設備、環境試驗 ...
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