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ST200-A-ULVAC愛發科 熱陰極電離真空計
ST200-A-ULVAC愛發科 熱陰極電離真空計

地:日本

貨物所在地:四川成都市

更新時間:2025/6/11 11:17:24

訪問次數:10

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真:
86-028-85068959
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四川成都市高新區天府大道中段500-1號東方希望天祥廣場C座4527室
化:
www.cosimoinc.cn
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供應簡介
熱陰極電離真空計是一種利用氣體電離現象的真空計。


詳細介紹

ULVAC愛發科 熱陰極電離真空計


ULVAC愛發科 熱陰極電離真空計

榮獲 2021 年日本真空工業協會“真空組件獎"


這是傳感器類型“型號:G-TRAN"多離子計的新型號,可以連接不同測量范圍的測量元件。 這種三極管型電離真空計不易受到靈敏度的影響,即使在真空計難以控制的環境中也能進行更長時間、更準確的真空測量。 在繼承高使用壽命和低運行成本的傳統理念的同時,我們進行了更加用戶友好的改進。


長處

可用性改進:可以通過 PC/智能手機連接設置設定點、狀態檢查等。

燈絲壽命通知功能:燈絲電量監控可提前通知燈絲壽命

可連接不同測量范圍的傳感器:多離子計允許根據應用選擇測量元件

緊湊性:比傳統產品小得多(控制器體積減少 56%),是很小的級別

產品陣容充實:除了模擬輸出規格(ST200-A)和串行通信規格(ST200-R)外,還將增加EtherCAT規格(ST200-E)

第一臺三極管金屬電離真空計(即使在惡劣的環境中,真空計也能保持長壽命

壓力測量范圍廣:從大氣壓到高真空 (1×10)+5~1×10-5Pa)(連接到可選單元 SWU10-R 時)

精確的大氣壓力測量:可以檢查腔室打開時的大氣壓力(當連接到可選單元 SAU 時)


用于檢查 OLED 和觸摸屏等制造設備的極限壓力,以及用于過程管理

用于檢查真空爐等各種工業真空設備的極限壓力

用于在含有大量碳氫化合物(油基)的氣氛中進行測量

用于在真空部件加工過程中殘留切削油和清潔液的氣氛中進行測量

對于希望減少真空計測量裝置更換頻率的真空設備

* 如果您想在腐蝕性氣體(鹵素氣體)環境中使用它,請聯系我們。


規范

ST200-A 系列ST200-R 系列ST200-E(即將發布)
規范標準規格串行通信規格EtherCAT 規范
自適應多離子計傳感器SWT-16(NW16), SWT-25(NW25)
可連接的傳感器多離子真空計傳感器:1
皮拉尼真空計 SWU10-R:1(可選) 大氣壓力傳感器 SAU:1(可選)
重復性 (N2)ST200 獨立模式:±2%
采樣時間60ms 5 移動平均線處理
測量值輸出輸出電壓 DC 0~10V LOG 輸出 0.75V/個位數
壓力轉換公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
更新時間60 毫秒
控制輸入信號FIL ON/OFF、DEGAS ON/OFF 使用集電極開路輸入、負邏輯運行--
控制輸出信號傳感器錯誤,設定點 1/2/3,發射有效,燈絲
功率監控
額定值:24V MAX,50mA MAX,1V 飽和電壓
--
串行通信規格-RS232C/RS-485 接口EtherCAT 技術
LED 指示POWER/ERROR:電源、錯誤 LED(閃爍狀態根據每種模式而變化)
發射電流2mA(1×10-2Pa 或更低)、10 μA (1×10-2PA 或更高)
DEGAS電子轟擊方式,發射電流 2 mA,電網電壓約 330 V
傳感器耐壓2×10+5Pa (絕對壓力) * 法蘭和卡箍等耐壓性必須單獨考慮。
傳感器內部容積17 厘米3(SWT-16),19 厘米3(SWT-25)
工作溫度范圍10~50°C
工作濕度范圍15~80% (無結露)
儲存溫度-20~65°C(斷電時,無冷凝)
IP 防護等級IP30 防護等級
電源電壓DC20~28V(紋波、噪聲 1% 以下)
8W 或更低
輸入/輸出連接器D-sub 15 針(M2.6 螺絲)
質量控制器:約 280g 測量元件(SWT-16、SWT-25):80g
尺寸 W×D×H69mm×63mm×90mm(控制器)
法規遵從性CE
Op-syeong (奧普祥)



多離子計傳感器SWT-16 (NW16), SWT-25 (NW25) 材質
: 燈絲 : Ir/Y2O3 涂層
其他: PtC-Mo, SUS304, W, 可伐合金玻璃, 可伐合金/鎳電鍍
皮拉尼真空計SWU10-R *兼容傳統 SPU
皮拉尼儀表傳感器SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18管端), SWP-P15(Φ15管端), SWP-CF16(ICF034)材質
: 細絲-Pt, 其他-BS/Ni, 電鍍, Ni, 焊錫
氣壓傳感器SAU(NW16) 材質:SUS316L
單元電纜GUC-200P(用于 SWU):0.5m、1m、2mGUC-200A
(用于 SAU):0.5m、1m、2m
顯示單位1CH:ISG1(使用 24V DC 電源)
顯示單元電纜SH200 ~ 顯示單元電纜
2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m
連接器輸入/輸出連接器 (D-sub15-soket (M2.6mm 螺絲))
其他檢驗報告、通用校準檢驗報告、JCSS 校準證書





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