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ULVAC愛發科 真空低溫泵
ULVAC愛發科 真空低溫泵
值得注意的是，低溫泵盡管使用吸附方式，但與其他真空泵相比，其抽速非常高。 因此，低溫泵被廣泛用于需要清潔高效真空環境的各個行業和研究部門。
在考慮安裝低溫泵時，其高性能和提供清潔真空環境的能力是一大優勢。
ULVAC Cryo 已應用于電子、光學、太陽能、核聚變、太空開發等許多領域，并積累了良好的業績記錄。
長處
適用于大中型生產設備。
重型 CRYO-U16 型。
規范
| 抽速 （20°C） | 氮 | L/s | 5,000 |
| 氫 | 10,000 | ||
| 氬 | 4,200 | ||
| 水 | 16,000 | ||
| 極限壓力 | 帕（托） | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氬 | Pa?L/s（Torr?L/s） | 1,6×10%3(12) |
| 排氣量 | 氬 | Pa?L （Torr?L） | 4.3×108（3.3×106) |
| 氫 | 2.4×10%6（1.8×104) | ||
| 冷卻下降時間 （電源循環） | 最小（Hz） | 120/110(50/60) | |
| 進氣法蘭 | UVG-400型 | ||
| 壓縮機組 | 產品型號 C30VRT | ||
| 質量 | 公斤 | 61.0 | |
* 維護間隔：16,000 小時
* 移動底座是可選的
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