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ULVAC愛發科 機械增壓泵
ULVAC愛發科 機械增壓泵
應用于半導體工藝、真空蒸餾、真空封裝、脫氣、薄膜、真空冶金、低密度風洞測試、太空探測、真空浸漬、真空干燥等眾多領域。
通用型機械式增壓泵
羅茨型 / 有效排氣速度顯示 / 具有各種保護功能
長處
這是一種小型羅茨型真空泵。
在輔助泵抽速降低的壓力范圍內，可以顯著提高抽速。
通過采用直流無刷電機，它可以從大氣壓中排出真空，因為它根據負載以最佳轉速運行。
磁耦合結構確保油不會泄漏到泵外部。
泵內部的密封采用非接觸式密封，大大減少了機械損失。
（與以前的型號相比，功耗降低了約 60%）
通過切換驅動器盒內的電源，可以在 100V 和 200V 系統下運行。
用法說明
1機械增壓泵不能單獨使用。 請務必將其與輔助泵組合使用。
2機械增壓泵專為在線使用而設計。將法蘭固定在排放側，并將泵安裝在該法蘭上。
3如果長時間未運行，在初次運行中，潤滑油在啟動時會起泡，因此請使用輔助泵排氣進行脫氣。
4在大氣壓附近運行與輔助泵的抽速大致相同，因此增壓泵的特性不顯現。
5當潤滑油量超過規定量時，油會進入轉子室內部。
6請務必檢查電源電壓是否與泵的設定電壓相匹配。
7它沒有配備用于安裝泵的底座。 法蘭是固定的。
8它沒有配備用于攜帶泵的手柄。
9電源線和應力消除裝置是可選的。
10消耗品需要定期維護。
規范
| 單位 | 規格值 | |
抽速 ※1 | m3/小時 | 50 |
極限壓力 ※2 | 帕 | 4.0×10-2 |
發動機 | 直流無刷電機，200W | |
權力※3 | 交流單相 100-120V / 200-240V （50/60Hz） | |
額定轉速 | r/min | 3500 |
電流 | 一個 | 最大負載時 1.2 （AC 100V） / 0.8 （AC 200V） ; 4.33 （AC 100V） / 2.54 （AC 200V） |
功耗 | W | 50 ; 極限壓力 250 ;最大負載時 |
油量 | 毫升 | 70 |
使用的油 | SMR-200 型 | |
質量 | 公斤 | 11.0 |
入口 | JIS VG-40 | |
卸貨口 | JIS VF-40 | |
輔助泵 | 油旋轉真空泵 130~240L/min | |
工作環境溫度 | °C | 0~40 |
最大尺寸 | 毫米 | 167（寬）×410（長）×130（高） |
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