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供應(yīng)簡介

機械增壓泵是一種可顯著提高抽速的泵。通過與油旋轉(zhuǎn)真空泵或干式泵等粗抽泵組合使用，在粗抽泵抽速降低的壓力范圍內(nèi)，粗抽泵的抽速可以顯著提高。

詳細介紹

ULVAC愛發(fā)科機械增壓泵

應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝、真空蒸餾、真空封裝、脫氣、薄膜、真空冶金、低密度風(fēng)洞測試、太空探測、真空浸漬、真空干燥等眾多領(lǐng)域。

通用型機械式增壓泵

“型號：PMB Ver.D"是通用型機械式增壓泵。

可選擇可選的表面處理和常壓驅(qū)動類型，也可以進行風(fēng)冷運行。

長處

配備用于空氣冷卻的變頻器，可在整個壓力范圍內(nèi)進行風(fēng)冷作。

由于它與可從多電壓電機（200V 級、多電壓）中選擇的通用電機兼容，

因此也可以安裝防爆電機（可選）。

表面處理具有優(yōu)異的耐腐蝕性（選項：T 型）

主要部件經(jīng)過陽極氧化處理，表面硬度高，耐腐蝕性優(yōu)異。減少泵內(nèi)部的劃痕和腐蝕。

由于可以同時使用常壓驅(qū)動型（選項：變頻器）

粗抽泵同時啟動，可有效縮短排氣時間，因此與標準型相比，可以縮短排氣時間。

除了針對特殊應(yīng)用的標準可選支持

外，還提供用于特殊應(yīng)用的型號。

使用示例	類型（Type）	適用型號	表面處理	排氣方向	油
空氣或惰性氣體排氣當(dāng)您想減少由于水分吸附引起的極限壓力的影響時	標準	PMB100D、PMB300D、PMB600D、PMB1200D PMB2400D	?	垂直	R-42 礦物油
空氣和惰性氣體排放表面處理，提高抗異物強度	T	PMB100D-T、PMB300D-T、PMB600D-T、PMB1200D-T、PMB2400D-T	〇^*1	垂直	R-42 礦物油

用

氣相沉積、濺射、離子鍍

真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣

分析儀器，泄漏測試設(shè)備

氣體置換、填充、真空絕熱

熱處理爐、熔煉爐

其他真空設(shè)備

規(guī)范

型號 *1				PMB100D	PMB300D	PMB600D	PMB1200D	PMB2400D
最大抽速		50 赫茲	m³/h （升/分鐘）	95 （1,580）	280 （4,670）	500 （8,330）	1,000 （16,667）	2,000 （33330）	2,500 （41,667）
		60 赫茲		115 （1,920）	330 （5,500）	600 （10,000）	1200 （20,000）	2,400 （40,000）	3,100 （51,667）
最大吸入壓力		50 赫茲	帕	9.3×10³	1,2×10³	1.3×10³		2.0×103/8.0×10²
		60 赫茲		6.2×10³	9.3×10²	1,1×10³		1.5×103/6.7×10²
最大允許壓差		50 赫茲	帕	8.0×10 元³	4.0×10³	7.3×10³		3.5×103/4.7×10³
		60 赫茲		5,6×10³	3.3×10³	6.0×10³		3.0×103/4.7×10³
極限壓力 *2			帕	4.0×10^-1			6,7×10^-1
可驅(qū)動壓力			帕	~1.0×10⁵ （常壓驅(qū)動）
電機 *3	電機功率（位數(shù)）		kW （位數(shù)）	0.4(2)	0.75(2)	2.2(2)	3.7(2)	7.5(2)
	200V 級電機	50 赫茲	V	200	ー
		60 赫茲		200/220	ー
	多電壓電機	50 赫茲	V	220~240/380~415°C	200~240/380~415°C
		60 赫茲		208~240/380~460°C	200~240/380~460°C
使用油 *4				ULVOIL R-42
所需油量			L	0.35	0.7	1.5	1.9	4
冷卻系統(tǒng) *5				風(fēng)冷	風(fēng)冷/水冷
冷卻水	入口壓力		Mpa	ー	0.3
	入口壓差		Mpa	ー	0.05
	冷卻水量		升/分鐘	ー	2		3
	冷卻水溫度 *6		°C	ー	5~30
進氣口 JIS-B-2290				VG50 等效值	VG80 等效值		VG100 等效值	VG200 等效值
排氣孔 JIS-B-2290				相當(dāng)于 VF50	相當(dāng)于 VF80			相當(dāng)于 VF200
尺寸 W×D×H *7			毫米	票價：267×576×180 元	票價：321×685×260	362×784×320 元	417×970×340 元	票價：520×1260×460 元
質(zhì)量			公斤	26	51	82	115	260
標準輔助泵				VD40C 系列	VD60C 系列	VD90C 系列	VS2401 系列	PKS-070B 系列	VS650B 系列
國際標準				CE、cTUVus
常壓驅(qū)動逆變器規(guī)格 / 電壓兼容			200V 級	I2，A2/200V~240V（50Hz/60Hz） *8
			400V 級	I4，A4/380V~480V（50Hz/60Hz） *8

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