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ULVAC愛發科 螺桿式干式真空泵
ULVAC愛發科 螺桿式干式真空泵
長處
通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊表面處理，實現了高耐腐蝕性。
螺旋式轉子軸具有 ULVAC 特別設計，可實現高粉末排放。
可在從大氣壓到極限壓力的整個壓力范圍內連續運行。
用
電子元件和半導體制造設備、
蝕刻設備、灰化設備、等離子清洗設備等的真空排氣系統
真空熱處理爐、
燒結爐、滲碳爐等的真空排氣系統
鋰電池制造設備、
電極干燥設備、消泡設備、注液設備等的真空排氣系統。
醫療和食品相關設備的真空排氣系統、
冷凍干燥設備、真空干燥設備等。
* MS1200A具有單獨的規格，帶有額外的控制板和傳感器。
規范
| 型 | MS120A 系列 | MS600A 系列 | MS1200A | |
| 最大抽速 *1 | m3/小時 | 115 | 560 | 980 |
| 極限壓力 | 帕 | ≦0.6 | ≦0.1 | |
| 電源電壓 | 三相，50/60Hz，AC200-240V±10% 或 三相，50/60Hz，AC380-480V±10% | |||
| 近似功耗 *2 | 千瓦 | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷卻水量 | 升/分鐘 | >4.0 | ||
| 吹掃氣體量 *1 | SLM 系列 | 0~50 | ||
| 最大水蒸氣吞吐量 *1*3 | 公斤/小時 | 1.5 | ||
| 噪音水平 *2 | 分貝（A） | 61 | 62 | 64 |
| 進氣口 | KF50 （水平） / VG50 （垂直） | ISO-F-80 認證 | ISO-F-100 認證 | |
| 排氣口 | 肯氟烴40 | |||
| 重量*4 | 公斤 | 139 | 241 | 264 |
| 法規遵從性 | CE、cTUVus | |||
| 標準配件 | 快速手冊、電源連接器、防水電纜夾、信號連接器、電源連接器防護罩、專用消音器 1 套 | |||
| 主機選項 | 電源電壓：200 V 級或 400 V 級 密封材料：氟橡膠 （FKM） 或全氟彈性體 （FFKM） | |||
| 外部選項 | 外殼排氣口、抗震裝置、LR 兼容單元（進氣口、信號）、吹掃氣體閥 | |||
高斯摩(成都)國際貿易有限公司 - 主營產品： 主要經營光學設備、電子計測、科學儀器、機械加工設備、環境試驗 ...
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