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1.1 定義
XRF通過測(cè)量樣品受X射線激發(fā)后發(fā)射的特征熒光X射線,實(shí)現(xiàn)元素成分定性與定量分析,適用于金屬、礦物、塑料等材料。
1.2 工作原理
激發(fā)源:X射線管(Rh靶)或放射性同位素(如Co-57)。
能量色散(EDXRF):硅漂移探測(cè)器(SDD)分辨元素特征能量。
波長色散(WDXRF):分光晶體分離不同波長,精度更高。
1.3 技術(shù)參數(shù)
參數(shù) | 典型值 |
---|---|
元素范圍 | Be(4)~ U(92) |
檢測(cè)限 | ppm級(jí)(重金屬元素) |
分析速度 | 10~300秒/樣品 |
樣品室尺寸 | 可容納直徑300 mm樣品 |
1.4 應(yīng)用場(chǎng)景
RoHS檢測(cè):電子元件中Pb、Cd、Hg等有害元素篩查。
地質(zhì)勘探:礦石中金屬元素品位快速評(píng)估。
鍍層分析:測(cè)量電鍍層厚度(如Zn鍍層0~50 μm)。
1.5 選型指南
臺(tái)式 vs 便攜:實(shí)驗(yàn)室分析選臺(tái)式(如Shimadzu EDX-7000),現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)選手持式(如Olympus Vanta)。
真空系統(tǒng):輕元素(Na、Mg)檢測(cè)需真空或氦氣環(huán)境。