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池田屋實業（深圳）有限公司
中級會員·2年您現在的位置： 池田屋實業（深圳）有限公司>>ULVAC愛發科>> UR3601-TT現貨精品 ULVAC愛發科 池田屋真空泵
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產品介紹
ULVAC愛發科作為真空技術企業，其核心產品覆蓋真空設備及配套系統，以下是主要產品線及其技術特點：
一、真空泵類產品
?油旋片真空泵 PVD-360?
?技術特性?：采用雙級設計，極限真空度達2×10?2 Pa，配備智能調速電機節能30%；模塊化結構縮短40%維護時間，轉子表面DLC涂層延長使用壽命至40,000小時46。
?應用領域?：適用于制冷行業（空調抽真空）、食品真空包裝、電子元器件生產及化工真空浸漬4。
?高真空低溫泵 CRYO-U6H?
?核心性能?：雙段式GM制冷技術實現1×10?7 Pa極限真空，氫氣排氣速度500 L/s，支持多泵聯動（單壓縮機驅動4臺泵）7。
?優勢?：氬氣處理容量提升2倍，再生周期優化，適用于半導體濺射和光學鍍膜等潔凈工藝7。
?油回轉真空泵配件?
?油霧過濾器 OMT-200A?：自動回收油煙至泵內，適配GLD系列泵型，降低油消耗和維護頻率2。
二、半導體制造設備
?uGmni-200E刻蝕設備?：模塊化平臺支持多工藝腔體切換，通用部件設計減少備件需求，提升電子產品制造效率5。
?GaN射頻器件解決方案?：涵蓋濺射、刻蝕、蒸鍍等全流程，核心技術包括低損傷刻蝕及大規模生產支持能力5。
?一次性蒸鍍卷繞設備?：實現雙面1μm鍍膜的高速量產，方阻降低顯著，適用于鋰電池制造5。
三、成膜與測量設備
?成膜設備?
成膜電源與橢偏儀：支撐薄膜沉積工藝中的電源供應與膜層分析1。
?真空測量儀器?
?M-11測定子?：電離真空計配件，測量范圍1.30×10??~2.3×10?2 Pa，快速響應高真空環境變化，適配GI系列真空計3。
四、其他核心組件
?真空機械手?：用于晶圓真空搬運，兼容復雜生產線布局1。
?真空閥與法蘭?：標準化部件支持真空系統快速搭建，覆蓋醫療、生物技術等領域1。
ULVAC產品以真空技術為核心，通過智能化、模塊化設計適配半導體、新能源、科研等多領域需求，持續推動高精度與節能技術創新15。
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