全自動渦流法?電阻率F方阻方阻是一種利用電磁感應原理進行檢測的方法。當載有交變電流的試驗線圈靠近導體工件時，會產生交變磁場，進而在工件中感生出密閉的環狀電流，即渦流。渦流的大小、相位及流動形式受到工件性質（如電導率、磁導率、形狀、尺寸）及有無缺陷的影響，通過儀器測量這些變化可以判斷工件的性質和狀態。??EFEM（Front End Modules）是半導體設備前端模塊的簡稱，是連接物料搬運系統和?硅片處理系統的橋梁。? EFEM的主要功能是在高潔凈環境下傳輸晶圓，確保晶圓能夠順利傳輸到工藝和檢測模塊