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SURF-CAL™ 標準微粒聚苯乙烯微球

Thermo Scientific™ SURF-CAL™ 尺寸標準品用于校準和維護掃描表面測試系統 (SSIS)，可以簡化校準晶片的準備工作。可提供的微粒尺寸與儀器生產商要求的校準點大小一致。

Thermo Fisher Scientific™ 以及半導體行業和 SEMI 共同確定了校準掃描表面測試系統時所使用的特定粒徑。我們與儀器制造商一起合作，共同開發了這一套符合 SEMI 指南要求的 SURF-CAL™ 系列產品。

可提供的微粒尺寸包括半導體國際技術藍圖 (ITRS) 定義的關鍵的尺寸節點的大小。
將 SURF-CAL™ NIST™ 可溯源聚苯乙烯微球 (PSL) 置于特別選定的晶片上，您就可以執行定期校準檢查，并可將您的掃描儀與其他地方的掃描儀進行對比。
您也可以在生產過程中的關鍵階段對 SSIS 系統進行性能評估。
這一系列標準品懸浮于去離子水中，以終濃度為 3 × 10⁸ 粒子/mL 的 50mL 瓶裝規格提供。

備注：

PD1100 系列產品以及更小的粒子均以濃度為10¹⁰粒子/mL 的規格提供，主要用于微分遷移率分析儀 (DMA) 或其他尺寸排阻技術作為輔助手段的應用。

除非另有說明，未使用本產品時，將其冷藏（2°C 至 8°C），請勿冷凍。將瓶子豎直密封存放。用手輕輕顛倒或用渦旋混合器混合產品。

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