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用于半導體制造過程的多組分密度計介紹

2021-11-18　　閱讀(905)

用于半導體制造過程的多組分密度計介紹


產品概覽

該型號在保留 FUD-1 Model-53 的可維護性和高精度在線測量等優點的同時，采用了用于半導體制造過程的小型單元型變送器。

多組分密度計的特點

3 個組件中的 2 個組件密度計側可以實時進行

  • 配備模擬DC 4至20mA（2系統）和數字RS232C作為標準設備

  • 標配測量誤差輸出和報警輸出

  • 標配自診斷功能和錯誤信息顯示

  • 緊湊輕便的單元式變送器可直接安裝在線路上

  • 由于使用 PFA 的接液部件的質量和小輸出設計，對化學溶液沒有影響。


優點

  • 可進行高精度連續測量

  • 免維護，無需定期調整和校準

  • 安裝方便，安裝過程中無需進行各種調整

  • 通過實時輸出輕松反饋過程


用

  • CMP工藝中的CMP漿料和氧化劑濃度控制等。

  • 清洗過程中清洗液濃度控制（HF+HNO3、HF+H2SiF6等）

  • 蝕刻工藝中蝕刻液濃度控制（TMAH+抗蝕劑、TMAH+Si等）







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