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邁可諾技術(shù)有限公司

主營(yíng)產(chǎn)品: 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī)

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濕法刻蝕顯影清洗系統(tǒng)

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狹縫涂布儀

掩膜曝光光刻機(jī)

納米壓印光刻機(jī)

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    使用德國(guó)Diener等離子清洗機(jī)時(shí)需要注意哪些

    2015-10-27  閱讀(2748)

       使用德國(guó)Diener等離子清洗機(jī)時(shí)需要注意以下事情:
      
      1、儀器的功率參數(shù)設(shè)定不要超過60(即儀器額定功率的60%)
      2、樣品處理時(shí)間不要過長(zhǎng)(不要超過10分鐘)如果感覺處理的效果不是很理想可以停機(jī)后,過5分鐘(待儀器的熱量散掉后)在進(jìn)行一次處理。
      3、在日常的使用過程中一定要做到打開電源后,*行回氣操作使倉體恢復(fù)常壓(按下Air/Vent按鈕,并在3—5秒后復(fù)原Air/Vent按鈕)后再開始實(shí)驗(yàn)。目的是防止真空泵油逆流。
      4、實(shí)驗(yàn)中處理的樣品不要與儀器的艙內(nèi)高壓板接觸
      5、對(duì)于本機(jī)而言一般材料的處理,所供氣體量在200-400ml/min之間等離子密度較為適宜
      6、平常要保持儀器的清潔,特別要注意艙門密封處。
      7、儀器不要放于特殊環(huán)境中使用,例如:高溫高濕等惡劣環(huán)境。
      
      以上是使用德國(guó)Diener等離子清洗機(jī)時(shí)需要注意的事情。
      
      


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