真空計概述

常見的真空計類型

1. 皮拉尼真空計（Pirani Gauge）
• 工作原理：利用熱絲的熱傳導變化來測量氣體壓力。當氣體壓力降低時，熱絲的散熱效果變差，電阻變化，通過測量電阻變化來確定壓力。
• 測量范圍：通常適用于10?3 Torr到大氣壓的范圍。
• 優點：結構簡單，成本較低，適用于粗真空測量。
• 缺點：在高真空下精度較低，需要校準。
2. 熱電偶真空計（Thermocouple Gauge）
• 工作原理：與皮拉尼真空計類似，但使用熱電偶來測量溫度變化。
• 測量范圍：通常適用于10?2 Torr到大氣壓的范圍。
• 優點：結構簡單，成本較低。
• 缺點：精度較低，需要校準。
3. 冷陰極電離真空計（Cold Cathode Ionization Gauge）
• 工作原理：利用高電壓產生的電離效應來測量氣體壓力。當氣體分子被電離時，產生的離子電流與氣體壓力成正比。
• 測量范圍：通常適用于10?1 Torr到10?? Torr的范圍。
• 優點：測量范圍寬，精度高。
• 缺點：需要高電壓，成本較高。
4. 熱陰極電離真空計（Hot Cathode Ionization Gauge）
• 工作原理：利用熱陰極發射的電子與氣體分子相互作用產生的離子電流來測量氣體壓力。
• 測量范圍：通常適用于10?? Torr到10?1? Torr的范圍。
• 優點：測量精度高，適用于高真空環境。
• 缺點：需要加熱元件，成本較高。
5. 電容式真空計（Capacitance Manometer）
• 工作原理：利用電容變化來測量氣體壓力。當氣體壓力變化時，電極之間的電容也會變化。
• 測量范圍：通常適用于10?? Torr到大氣壓的范圍。
• 優點：測量精度高，線性好。
• 缺點：成本較高，需要定期校準。

可能與之相似的設備和品牌

1. Pfeiffer Vacuum（德國）
• 產品特點：Pfeiffer Vacuum是全的球的知的名的真空設備制造商，提供多種類型的真空計，包括皮拉尼真空計、冷陰極電離真空計和熱陰極電離真空計等。
• 應用領域：廣泛應用于科研、工業生產、半導體制造等領域。
2. Edwards（英國）
• 產品特點：Edwards提供多種高性能的真空計，包括皮拉尼真空計、冷陰極電離真空計和熱陰極電離真空計等。
• 應用領域：廣泛應用于科研、工業生產、航空航天等領域。
3. Varian（美國）
• 產品特點：Varian（現為Agilent Technologies的一部分）提供多種高精度的真空計，包括電容式真空計和熱陰極電離真空計等。
• 應用領域：廣泛應用于科研、半導體制造等領域。

Canon公司背景

使用方法

• 安裝：將真空計安裝在需要測量的真空系統中，確保連接牢固，密封良好。
• 校準：在使用前，需要對真空計進行校準，確保測量結果的準確性。
• 測量：打開真空系統，啟動真空計，根據儀器的指示進行測量。
• 數據記錄：記錄測量數據，進行分析和處理。

維護和注意事項

• 定期校準：為了確保測量結果的準確性，建議定期對真空計進行校準。
• 清潔和維護：定期清潔真空計的傳感器和連接部件，避免灰塵和雜質影響測量結果。
• 避免過載：避免在超出測量范圍的條件下使用真空計，以免損壞儀器。
• 存儲條件：在不使用時，應將真空計存放在干燥、清潔的環境中，避免受潮和腐蝕。