Festo 費斯托在半導(dǎo)體行業(yè)中的解決方案

Festo – 為半導(dǎo)體行業(yè)提供一站式解決方案

在半導(dǎo)體制造這個快節(jié)奏的世界里，精確度至關(guān)重要。半導(dǎo)體行業(yè)由技術(shù)進(jìn)步所推動，任何微小的變化都可能對產(chǎn)品的質(zhì)量和性能產(chǎn)生重大影響。而氮氣吹掃技術(shù)就是這一領(lǐng)域的無名英雄，為半導(dǎo)體生產(chǎn)過程帶來了眾多益處。

氮氣吹掃的優(yōu)勢與半導(dǎo)體材料本身一樣。通過利用氮氣的特性，你可以實現(xiàn)更高的產(chǎn)量、更優(yōu)的產(chǎn)品質(zhì)量、更長的設(shè)備使用壽命，以及更安全、更可持續(xù)的生產(chǎn)過程。想要了解如何實施氮氣吹掃系統(tǒng)以減少高達(dá)4%的碳排放量。

產(chǎn)品一：

質(zhì)量流量調(diào)節(jié)閥 VEMD、

得益于比例閥，動態(tài)質(zhì)量流量調(diào)節(jié)閥 VEMD 運行噪音極低。 帶傳感器的集成式電子元件按比例對空氣、氧氣、氮氣、氬氣和二氧化碳的流量進(jìn)行檢測、調(diào)節(jié)和計量。

質(zhì)量流量調(diào)節(jié)閥 (MFC)，帶熱流量傳感器和集成控制電子裝置

動態(tài)調(diào)節(jié)，響應(yīng)時間短

工作介質(zhì)：空氣、氧氣、氮氣、氬氣、二氧化碳

當(dāng)前流量值可通過接口獲得

適用于許多需要調(diào)節(jié)惰性氣體或氧氣的應(yīng)用

通過高效控制實現(xiàn)可持續(xù)運行

產(chǎn)品二：

用于 VYKA 的電氣連接元件 VAVE-K1

用于介質(zhì)分離式電磁閥 VYKA

帶保持電流降低功能

應(yīng)用：控制和調(diào)節(jié)冷卻回路

您面臨的挑戰(zhàn)：在半導(dǎo)體制造過程中可靠地調(diào)節(jié)冷卻液

Festo 的解決方案：

閥島 VTUG 和 VTOC (1)用于可靠地控制介質(zhì)的氣控閥

CPX-MPA 型閥島如果需要額外的 I/O，例如用來控制電控閥、集成傳感器或創(chuàng)建閉環(huán)控制回路。此閥島還可用于執(zhí)行診斷和遠(yuǎn)程維護(hù)功能。

氣控或電控 閥 VZXA、VZQA 和 VZWF (3)控制介質(zhì)流量。即使在閉環(huán)控制回路中，也能可靠、準(zhǔn)確地調(diào)節(jié)非常冷和/或熱的介質(zhì)。

角行程驅(qū)動器 DFPD (4)驅(qū)動 球閥 VZBF (5)以及通常用于冷卻或溫度控制介質(zhì)的主管線和進(jìn)/出管線的大流量翻板閥。

SFAW (2) 和 SPAW (6)型傳感器非常準(zhǔn)確地測量介質(zhì)流量以及溫度和壓力。

Festo 為制造電子元件的機(jī)器提供了廣泛的產(chǎn)品組合：具有集成安全功能的閥島 VTOC 或我們的比例壓力閥 VEAA/VEAB（用于對通常控制或調(diào)節(jié)工藝氣體的介質(zhì)閥進(jìn)行先導(dǎo)控制）。

閥島 VTOC

緊湊型先導(dǎo)閥島適用于各種氣動應(yīng)用。加上互鎖選項，提高安全性。VTOC通過多針或現(xiàn)場總線接口控制，也適用于10-Link®,

比例壓力閥 VEAA

壓電技術(shù)使 VEAA 極其精確，使用壽命長，壓力范圍高達(dá) 10bar。其他優(yōu)點包括極短的切換時間、安靜的運行和極低的功耗。

比例壓力閥 VEAB

壓電技術(shù)使 VEAB 極為精確，使用壽命長，壓力范圍高達(dá)6bar。其他優(yōu)點包括極短的切換時間、安靜的運行和極低的功耗。