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高頻介電常數測試儀主要用于測量材料在高頻電場下的介電特性，其工作原理基于電磁學原理，通過測量材料在高頻電磁場中的響應特性，間接計算介電常數（ε）和介電損耗（tanδ）。
高頻介電常數測試儀主要有兩種測試方法：電磁諧振法與傳輸線法。在電磁諧振法中，利用諧振腔（如矩形腔、圓柱腔）在特定頻率下的諧振特性，當被測材料放入諧振腔時，會改變腔體的電磁參數，如諧振頻率和品質因數Q值。通過測量這些參數的變化，可以計算出材料的介電常數。傳輸線法則是將被測材料填充至同軸線或波導中，構成傳輸系統，通過測量入射波、反射波和傳輸波的幅度與相位，計算材料的復介電常數。
高頻介電常數測試儀的關鍵技術包括高頻信號源技術、傳感器與測試結構設計以及信號處理與測量技術。高頻信號源需要提供穩定的高頻信號，通常覆蓋100MHz至數十GHz頻段，并具備高頻率穩定性。傳感器與測試結構設計需根據被測材料形態選擇合適的腔體類型，并確保腔體尺寸與工作頻率匹配。信號處理與測量技術則利用矢量網絡分析儀（VNA）同時測量信號的幅度和相位，獲取復介電常數，并通過校準消除系統誤差，提高測量精度。
高頻介電常數測試儀在材料研發、電子器件性能評估等領域具有廣泛應用，其技術發展將持續推動高頻電子材料與器件的創新。
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