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賀德克壓力傳感器HDA4745型工作原理
點擊次數：446 發布時間：2018-2-1
賀德克壓力傳感器HDA4745型工作原理
賀德克HYDAC壓力傳感器其應力硅薄膜上部有一真空腔，使之成為一個典型的絕壓壓力傳感器。賀德克HYDAC壓力傳感器應力硅薄膜與真空腔接觸這一面經光刻生成的電阻應變片電橋電路。當外面的壓力經引壓腔進入傳感器應力杯中，應力硅薄膜會因受外力作用而微微向上鼓起，發生彈性變形，四個電阻應變片因此而發生電阻變化，破壞原先的惠斯頓電橋電路平衡，賀德克HYDAC壓力傳感器電橋輸出與壓力成正比的電壓信號。賀德克HYDAC壓力傳感器是采用高精密半導體電阻應變片組成惠斯頓電橋作為力電變換測量電路的，具有較高的測量精度、較低的功耗，極低的成本。惠斯頓電橋的壓阻式傳感器，如無壓力變化，其輸出為零，幾乎不耗電。壓力傳感器采用周邊固定的圓形的應力杯硅薄膜內壁，賀德克HYDAC壓力傳感器采用MEMS技術直接將四個高精密半導體應變片刻制在其表面應力zui大處，組成惠斯頓測量電橋，作為力電變換測量電路，將壓力這個物理量直接變換成電量，其測量精度能達0.01%～0.03%FS。
賀德克HYDAC壓力傳感器是基于金屬彈性體受力變形，由機械量彈性變形到電量轉換輸出，因此它不可能如MEMS壓力傳感器那樣做得像IC那么微小，成本也遠遠高于MEMS壓力傳感器。相對于傳統的機械量傳感器，MEMS壓力傳感器的尺寸更小，zui大的不超過1cm，使性價比相對于傳統“機械”制造技術大幅度提高。賀德克HYDAC壓力傳感器的工作原理和他們的產品，其工作原理是將輸入信號（壓力）轉換為電阻變化，即通過惠斯登電橋架構的壓阻式壓力傳感器感應施加在薄隔膜上的壓力。壓力傳感器的一個重要參數是靈敏度，高分辨率的小型壓力傳感器使得氣壓計/高度計應用得以在移動終端中實現，賀德克HYDAC壓力傳感器比如在GPS的應用中，高度計能夠準確判斷出位置是在橋上還是橋下。
賀德克HYDAC壓力傳感器進行高精度、低成本的大批量生產，從而為消費電子和工業過程控制產品用低廉的成本大量使用MEMS傳感器打開方便之門，使壓力控制變得簡單易用和智能化。傳統的機械量壓力傳感器是基于金屬彈性體受力變形，由機械量彈性變形到電量轉換輸出，因此它不可能如MEMS壓力傳感器那樣做得像IC那么微小，賀德克HYDAC壓力傳感器成本也遠遠高于MEMS壓力傳感器。相對于傳統的機械量傳感器，MEMS壓力傳感器的尺寸更 小，zui大的不超過1cm，使性價比相對于傳統“機械”制造技術大幅度提高。壓力傳感器有硅壓阻式壓力傳感器和硅電容式壓力傳感器，兩者 都是在硅片上生成的微機械電子傳感器。賀德克HYDAC壓力傳感器是采用高精密半導體電阻應變片組成惠斯頓電橋作為力電變換測量電路的，具有較高的測量精度、較低的功耗，極低的成本。
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