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hydac壓力傳感器使用原理
點擊次數：488 發布時間：2018-1-8
hydac壓力傳感器使用原理
賀德克hydac壓力傳感器前者電阻隨壓力的變化主要取決于電阻率的變化，后者電阻的變化則主要取決于幾何尺寸的變化（應變），而且前者的靈敏度比后者大50～100倍。賀德克hydac壓力傳感器當力作用于硅晶體時，晶體的晶格產生變形,使載流子從一個能谷向另一個能谷散射,引起載流子的遷移率發生變化，擾動了載流子縱向和橫向的平均量，從而使硅的電阻率發生變化。這種變化隨晶體的取向不同而異，因此硅的壓阻效應與晶體的取向有關。硅的壓阻效應不同于金屬應變計，壓力傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯片,并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內，引出電極引線。賀德克hydac壓力傳感器又稱為固態壓力傳感器，它不同于粘貼式應變計需通過彈性敏感元件間接感受外力，而是直接通過硅膜片感受被測壓力的。硅膜片的一面是與被測壓力連通的高壓腔，另一面是與大氣連通的低壓腔。賀德克hydac壓力傳感器硅膜片一般設計成周邊固支的圓形，直徑與厚度比約為20～60
賀德克hydac壓力傳感器航天和航空工業中壓力是一個關鍵參數，對靜態和動態壓力，局部壓力和整個壓力場的測量都要求很高的精度。壓阻式傳感器是用于這方面的較理想的傳感器。例如,用于測量直升飛機機翼的氣流壓力分布，測試發動機進氣口的動態畸變、葉柵的脈動壓力和機翼的抖動等。賀德克hydac壓力傳感器在飛機噴氣發動機中心壓力的測量中，使用專門設計的硅壓力傳感器,其工作溫度達500℃以上。在波音客機的大氣數據測量系統中采用了精度高達0.05％的配套硅壓力傳感器。在尺寸縮小的風洞模型試驗中，壓阻式傳感器能密集安裝在風洞進口處和發動機進氣管道模型中。賀德克hydac壓力傳感器被測的動態壓力作用在彈性敏感元件上，使它產生變形，在其變形的部位粘貼有電阻應變片，電阻應變片感受動態壓力的變化，賀德克hydac壓力傳感器按這種原理設計的傳感器稱為電阻應變式壓力傳感器。
賀德克hydac壓力傳感器當彈性敏感元件受到動態壓力作用后隨之產生相應的變形ε,而形應變值可由絲式應變片或箔式應變片測出，從而得到了ΔR的變化，也就得到了動態壓力的變化，基于這種應變效應的原理實現了動態壓力的測量。傳感器的特點是具有較高的強度和抗沖擊穩定性，具有優良的靜態特性、動態特性和較高的自震頻率，可達30khz以上，賀德克hydac壓力傳感器測量的上限壓力可達到9.6mpa。適于測量高頻脈動壓力，又加上強制水冷卻。也適于高溫下的動態壓力測量，如火箭發動機的壓力測量，內燃機、壓氣機等的壓力測量。非線性較大。但小壓力測量中由于變形很小，非線性誤差可小于0.5％，賀德克hydac壓力傳感器同時又有較高的靈敏度，因此在沖擊波的測量中，國內外都用過這種膜片式壓力傳感器。
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