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Otsuka大塚 分光干涉式晶圓膜厚儀高度檢測

參   考   價: 100000

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號Otsuka大塚SF-3

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地蘇州市

更新時間:2025-06-12 14:22:26瀏覽次數(shù):49次

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應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件
Otsuka大塚 分光干涉式晶圓膜厚儀高度檢測即時檢測 WAFER基板于研磨制程中的膜厚 玻璃基板于減薄制程中的厚度變化 (強酸環(huán)境中) 產(chǎn)品特色 非接觸式、非破壞性光學式膜厚檢測 采用分光干涉法實現(xiàn)高度檢測再現(xiàn)性 可進行高速..

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Otsuka大塚 分光干涉式晶圓膜厚儀高度檢測WAFER基板于研磨制程中的膜厚

玻璃基板(強酸環(huán)境中)于減薄制程中的厚度變化


● 非接觸式、非破壞性光學式膜厚檢測
● 采用分光干涉法實現(xiàn)高度檢測再現(xiàn)性
● 可進行高速的即時研磨檢測
● 可穿越保護膜、觀景窗等中間層的檢測
● 可對應(yīng)長工作距離、且容易安裝于產(chǎn)線或者設(shè)備中
● 體積小、省空間、設(shè)備安裝簡易
● 可對應(yīng)線上檢測的外部信號觸發(fā)需求
● 采用適合膜厚檢測的獨自解析演算法。
● 可自動進行膜厚分布制圖(選配項目)
各類日系工業(yè)品:,SSD西西蒂(離子風扇)、AND愛安得(電子天平)、SAN-EI三英(點膠閥) HOYA光源,KURABO脫泡機,USHIO牛尾照度計,Tsubosaka壺坂電機,IMV愛睦威,PISCO匹士克接頭,hakko八光電機,lambda拉姆達膜厚儀,MUSASHI武藏,SAKURAI櫻井,aitec艾泰克,otsuka大塚(膜厚儀、粒度儀),Hitachi日立(掃描電鏡),MIKASA米卡薩(旋涂設(shè)備、顯影)、POLARION普拉瑞、AITEC艾泰克(檢查光源)、Iwasaki巖崎、OTSUKA大塚電子(光學膜厚儀)、KOSAKA小坂(臺階儀)、HORIBA堀場儀器(分析儀)、SIBATA柴田科學(環(huán)境測定)、TORAY東麗濃度儀(氧氣分析儀)、yamada山田鹵素強光燈、CEDAR思達


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