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5810i 離子平衡頂置式鼓風機Simco-Ion 思美高
5810i 離子平衡頂置式鼓風機Simco-Ion 思美高
■與外部傳感器（NOVX 3150/3350/3360/7000 等）
結合使用時可實現高精度 +/-1v 離子平衡
（不使用外部傳感器時為 +/-3v）
■高潔凈兼容性
■ 5802i、5810i、5822i 型離子發生器風機
專為在潔凈室中使用而
設計，高度潔凈且符合 ISO 4 級（聯邦標準 209E 10 級）標準
■專有的自動離子平衡控制
可延長維護周期
■配備風扇停止警報
■可選的自動電極清潔機制
■
高可靠性和本地支持，并有 全球眾多交付記錄作為后盾
| 輸入電壓 | 100-240V交流電+/-10% 50/60Hz |
|---|---|
| 外部的 | 鋁上的環氧/聚酯粉末涂料 |
| 離子發生方法 | 穩態直流法 |
| 電極 | 鈦合金8片/扇 |
| 風量 | 144cfm 典型值/風扇 風扇速度 = 高 |
| 除靜電時間 | <3秒。 45cm距離。1kv→100v。晶圓廠速度 = 高 |
| 離子平衡 | <+/-1v 典型值（帶外部傳感器）+/-3v（不帶外部傳感器） |
| 尺寸 | -32：高96毫米 x 深155毫米 x 長813毫米 -40：高96毫米 x 深155毫米 x 長1016毫米 -44：高96毫米 x 深155毫米 x 長1118毫米 |
| 重量 | -44：鋁制機身規格4.6kg |
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