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成都藤田光學(xué)儀器有限公司
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日本otsuka大塚電子Smart膜厚儀
  • 日本otsuka大塚電子Smart膜厚儀
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貨物所在地:四川成都市

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更新時(shí)間:2025-02-21 10:32:41

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Smart膜厚儀
● 可攜帶至現(xiàn)場的手持式

● 可測量0.1μm單位

● 具有形狀的樣品也可非破壞的測量

● 不論基材材質(zhì)、可測量其鍍膜
產(chǎn)品信息

產(chǎn)品信息

特點(diǎn)

● 可攜帶至現(xiàn)場的手持式

● 可測量0.1μm單位

● 具有形狀的樣品也可非破壞的測量

● 不論基材材質(zhì)、可測量其鍍膜


測量項(xiàng)目

膜厚測量范圍

1μm~50μm

測量重復(fù)性

0.01μm

測量時(shí)間

1秒以下


Smart手持式膜厚儀與其他膜厚儀的比較

與桌上型光學(xué)膜厚儀相比,Smart膜厚儀在“現(xiàn)場"以非破壞式直接量測樣品,且可以量測特殊形狀樣品。

日本otsuka大塚電子Smart膜厚儀


與接觸式膜厚儀相比,Smart膜厚儀不僅不會(huì)破壞您的樣品,也不會(huì)因?yàn)橛脩舨煌a(chǎn)生誤差且遠(yuǎn)高于接觸式膜厚計(jì)的量測精度。

日本otsuka大塚電子Smart膜厚儀

與渦電流/電磁式膜厚儀相比,Smart膜厚儀不需要制作檢量線,且可以量測非金屬基材并且得到值!

日本otsuka大塚電子Smart膜厚儀


不需要量測經(jīng)驗(yàn),可快速得到精準(zhǔn)的膜厚結(jié)果

日本otsuka大塚電子Smart膜厚儀

規(guī)格樣式

量測原理

反射分光法(光干涉法)、非破壞性量測

膜厚量測范圍

1~50μm(顯示上限60μm)

重復(fù)精度

2.1σ 0.01μm(SiO2膜1μm)

量測時(shí)間

1秒內(nèi)

量測層數(shù)

1層

數(shù)據(jù)輸出

附屬操作屏幕顯示或以USB輸出Excel檔案

量測Spot

Φ1mm以下

重量


約1.1kg



選配

筆型探頭

能夠測量狹窄區(qū)域或形狀的樣品。 探頭端Φ6mm。

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非接觸式載臺(tái)

對(duì)于濕膜或半導(dǎo)體晶圓等不想接觸的樣品,可以通過自由設(shè)定探頭位置進(jìn)行非接觸測量。

日本otsuka大塚電子Smart膜厚儀

使用場景

產(chǎn)品開發(fā)-量測試作品

1.攜帶到合作廠商等,直接在現(xiàn)場量測效率Up

2.試作階段的檢查方法商定效率Up

日本otsuka大塚電子Smart膜厚儀


產(chǎn)線-設(shè)定產(chǎn)線參數(shù)、提高良率

1.現(xiàn)場可直接量測,無須準(zhǔn)備,量測時(shí)間短、效率Up

2.產(chǎn)品檢查的早期階段發(fā)現(xiàn)問題,事后的對(duì)策更加靈活

日本otsuka大塚電子Smart膜厚儀


質(zhì)量管理-品管效率Up

1.現(xiàn)場可直接量測高精度量測成品,盡早發(fā)現(xiàn)不良品異狀

2.事后的對(duì)策可更加靈活

日本otsuka大塚電子Smart膜厚儀


After Service-活用可攜帶的優(yōu)點(diǎn)

在產(chǎn)品出貨后的客戶端也可直接帶去量測。

現(xiàn)場較難量測的立體物、無法切割破壞的樣品(例如:窗戶的Coating等)。

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