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解析勻膠機原理材質的選擇

閱讀:371        發布時間:2022-2-24

解析勻膠機原理材質的選擇

 

 

從其原理來說,勻膠機有以下兩個特點。

1)旋轉速度

轉速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速誤差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數據的。轉速控制方面有國際認定標準,如美國NIST標準等。

2)真空吸附系統

真空泵一般采用無油泵,即通常說的干泵,因為任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,會導致基片吸附不住而產生“飛片"的情況,還會讓滴的膠液不慎進入真空管道系統造成*堵塞。有的勻膠機通過聯動機制,當真空吸附力不夠時不會開始旋轉。這樣可有效避免滴的膠液不慎進入真空管道系統。

勻膠機勻膠機

該勻膠機的技術參數:

Speed Ⅰ調速范圍:5002500 r/min

Timer Ⅰ勻膠時間:018 s

Speed Ⅱ轉速范圍:8008000 r/min

Timer Ⅱ勻膠時間:060 s

轉速穩定度:±1%

電機功率:40 W

被鍍物質尺寸:Φ12~Φ100mm [3]

 

 

材質的選擇

對于半導體化工行業的應用來說,材質的選擇尤為關鍵,大部分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質,因為這種材質的成本很低,不銹鋼的對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好,塑料對于較高溫度和壓力下易產生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會導致旋涂時,時高時低的顛簸狀態。自然無法得到好的旋涂效果。例如美國等型號都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆,PTFE)材質。這兩種材質具備綠色環保、節約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優點


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