日本東麗toray半導(dǎo)體制造用氧氣計(jì)LC-450D

LC-450D設(shè)備規(guī)格
測量原理 | 氧化鋯濃縮池類型 |
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形狀 | 桌面/面板安裝類型 |
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顯示方式 | 4位數(shù)字顯示(密度顯示) |
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測量范圍 | 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol%O 2 10 -20至10 -0 atm自動量程 |
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重復(fù)性 | 在±1%FS 0-1ppm以內(nèi),atm范圍超出濃度保證范圍 |
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取樣方式 | 內(nèi)置泵的連續(xù)吸入型 |
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樣氣條件 | 壓力 | 加壓小于30KPa |
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流量 | ?1,500升/分鐘 |
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濕度 | 露點(diǎn)低于環(huán)境溫度 |
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溫度 | 0-50°攝氏度 |
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其他 | 請勿包含腐蝕性氣體(氟氣,氯氣,硫化物氣等),含有機(jī)硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。 |
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比較氣 | 大氣層 |
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記錄儀 輸出 | 氧氣濃度輸出 | 0-10VDC,絕緣,負(fù)載電阻600kΩ或更高 (選件:4-20mADC,絕緣,負(fù)載電阻550Ω或更低) 記錄儀輸出范圍為滿量程,線性輸出至氧氣濃度 |
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輸出范圍 | 0-100%,0-1000ppm,0-100ppm,0-10ppm自動/固定范圍 |
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變速箱輸出 | RS-232C |
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報(bào)警輸出 | 失敗(設(shè)備錯誤) | 1分 | 非電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量30VDC / AC或更小,0.5A或更小 由于設(shè)備錯誤導(dǎo)致的觸點(diǎn)閉合(觸點(diǎn)操作可更改) |
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ALM(濃度警報(bào)) | 2點(diǎn)(L / LL) | 非電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下 發(fā)生警報(bào)時(shí)的接點(diǎn)閉合(可以更改接點(diǎn)操作) |
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RDY(預(yù)熱信號) | 1分 | 非電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下在 預(yù)熱期間,接點(diǎn)閉合(可以更改接點(diǎn)操作) |
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MRK(范圍標(biāo)記)輸出 | 2分 | 非電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量30VDC / AC以下,0.5A以下 |
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熱身時(shí)間 | 5分鐘以內(nèi) |
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尺寸 | 身體 | 240(W)×134(H)×210(D)mm(不包括突起) |
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大眾 | 約5kg |
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氣體 連接口 | 進(jìn)口 | Rc1 / 8 |
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旁路輸出 | Rc1 / 8 |
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出口 | Rc1 / 8 |
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使用電源 | 24VDC±10%,1.25A(30VA,穩(wěn)態(tài)) |
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日本東麗toray半導(dǎo)體制造用氧氣計(jì)LC-450D