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47次善準全自動真空等離子清洗機VP-A系列是善準等離子體技術的“集大成者"，將等離子處理工藝優化的“顆粒度"提高到了全新的水平，為高質量、高水平的生產和研究提供了有力支撐。全自動真空等離子清洗機VP-A7有四個參數可以優化：處理時間、通入氣體的流量、通入氣體的種類和功率；處理時間可精確到秒，氣體流量精度可控制在±1%，流量0-300sccm中任選并可在觸摸屏選擇20種氣體，幾乎覆蓋了等離子處理工藝所需的氣體，功率大小可調節，提供無極連續調節，使等離子處理工藝的可靠性、重復性、精細化都獲得了極大提升。
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