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旋轉(zhuǎn)型等離子低溫灰化儀在半導體工業(yè)中具有廣泛的應用前景

時間:2023/4/6閱讀:364
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  旋轉(zhuǎn)型等離子低溫灰化儀是一種常用于半導體工業(yè)中去除雜質(zhì)和有機物的設備。該設備通過產(chǎn)生高頻電場,在氣體中產(chǎn)生等離子體,將樣品置于等離子體環(huán)境中,使得樣品表面的雜質(zhì)和有機物分解成較小的分子并氧化。與其它等離子處理設備相比,R-PLT Asher具有更低的處理溫度和更高的處理速率,同時還可以對三維樣品進行處理。
  該設備主要由等離子發(fā)生器、旋轉(zhuǎn)電極和反應室組成。等離子發(fā)生器通過產(chǎn)生高頻電場,將氣體中的原子或分子激發(fā)成等離子體,產(chǎn)生高能量離子、自由基和電子等活性物種。旋轉(zhuǎn)電極則通過旋轉(zhuǎn)運動,使得樣品在等離子體中均勻受到處理。反應室則提供一個密閉的環(huán)境,以控制處理過程的壓力和化學環(huán)境。

 

  使用R-PLT Asher進行處理時,首先需要將樣品放置在旋轉(zhuǎn)電極上,并將反應室密封。然后通過連接等離子發(fā)生器,產(chǎn)生高頻電場,使得氣體形成等離子體。樣品在旋轉(zhuǎn)電極的作用下,均勻受到處理。處理時間和處理條件可以根據(jù)不同的樣品進行調(diào)整。
  旋轉(zhuǎn)型等離子低溫灰化儀是一種用于分解有機樣品中的無機成分的儀器。以下是正確使用方法:
  1.準備樣品:將有機樣品粉碎至適當大小,并確保樣品干燥、均勻分布。
  2.裝載樣品:將樣品裝入樣品艙內(nèi),注意不要過度填充或壓實。
  3.設置參數(shù):根據(jù)樣品性質(zhì)和實驗需求,選擇合適的氣體流速、功率和時間等參數(shù)。通常建議使用氮氣作為惰性氣體。
  4.開始處理:在設定好的參數(shù)下,啟動儀器開始處理樣品。處理結(jié)束后,等待樣品冷卻至室溫。
  5.取出樣品:將處理后的樣品從樣品艙中取出,注意避免污染和損壞。
  6.分析樣品:對處理后的樣品進行必要的分析和測試,如X射線衍射、元素分析等。
  7.清潔儀器:清除殘留物和污垢,保持儀器干凈整潔。
  注意事項:
  1.操作前應熟悉儀器操作手冊并進行必要的安全措施。
  2.樣品處理中應避免使用易燃、易爆等危險物質(zhì)。
  3.使用過程中應注意保持儀器干燥、清潔,避免污染和損壞。

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