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灰度光刻3D打印技術成就微型致動器制造

閱讀:901        發(fā)布時間:2024/6/12
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清華大學的張明超團隊在nature materials發(fā)表了相關論文,提出了一種受生物皮膚雞皮疙瘩反應啟發(fā)而設計的微致動系統(tǒng)。該系統(tǒng)由3D打印的被動微結構(采用Nanoscribe公司的光刻膠IP-S)和光響應液晶彈性體(LCE,由單體RM257、交聯(lián)劑PETMP、柔性鏈延長劑EDDET等合成)人工皮膚組成。在飛秒激光(中心波長780 nm,脈沖持續(xù)時間80 fs,重復頻率80 MHz)照射下,LCE皮膚產(chǎn)生局部微尺度“人工雞皮疙瘩",驅動被動微結構運動。通過精確編程激光軌跡、速度和功率,實現(xiàn)了微結構的二維運動控制,包括0-360度旋轉。




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微致動器在微型機器人、生物醫(yī)學設備和集成電子等領域有著廣泛的應用前景。然而,現(xiàn)有的微致動器技術面臨一些挑戰(zhàn),例如制造復雜性高、小尺度運動受限、各單元獨立控制難、以及微結構操縱困難等。受生物皮膚雞皮疙瘩反應的啟發(fā),該團隊利用光響應LCE人工皮膚產(chǎn)生局部變形,驅動被動微結構運動,實現(xiàn)了精確、局部和可控的微結構操縱。




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通過編程激光參數(shù),該微致動系統(tǒng)實現(xiàn)了微結構的0-360度旋轉等二維運動控制,為微型機器人的靈活運動提供了可能。此外,該系統(tǒng)還可用于精確控制由光刻膠IP-S制成的微鏡的傾斜角度和方向,實現(xiàn)對光反射的精確控制。




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另一個重要的應用是局部或全局地拆卸毛細力誘導的自組裝微結構,為微結構制造和微流控應用提供了新的工具。

此外,通過控制微結構在暗態(tài)和亮態(tài)之間的可控切換,該系統(tǒng)展示了在信息存儲領域的潛力。


然而,該微致動系統(tǒng)仍面臨一些挑戰(zhàn),例如實現(xiàn)對微結構的精確、局部和可控操縱需要對激光參數(shù)進行精確編程,并對LCE材料的特性進行深入理解和優(yōu)化。LCE材料的響應速度、變形范圍和穩(wěn)定性等特性對微致動系統(tǒng)的性能有重要影響,需要進一步研究和改進。該微致動系統(tǒng)在微型機器人、生物醫(yī)學設備、微流控和集成電子等領域的應用潛力巨大,但需要針對不同應用場景進行定制化設計和優(yōu)化。


本文的工作通過Nanoscribe雙光子聚合原理微納3D打印完成,全新雙光子灰度光刻技術將微納增材制造和超高速體素大小調節(jié)結合在一起:雙光子灰度光刻(2GL)是一種全新的具有超高速、超精確的可以滿足自由形態(tài)的微加工技術,同時又不影響速度和精度。

Nanoscribe 3D微納加工系統(tǒng)海具備A2PL®對準雙光子光刻技術,可實現(xiàn)在光纖和光子芯片上的納米級精確對準。3D printing by 2GL®在實現(xiàn)優(yōu)異的打印質量同時兼顧打印速度,適用于微光學制造和光子封裝領域。


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