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1. 保持儀器整體清潔，不要處理潮濕樣品。

2. 儀器安裝位置要合適：真空泵與儀器主機的安裝高度差最好大于90厘米。

3. 運行工藝最好是從短時間，低功率開始介入，摸索出適合自己實驗的工藝，盡量避免一成不變的套用各種文獻的工藝，各種文獻所述工藝僅供參考。

4. 避免通入易燃和有腐蝕性氣體工作，例如氨氣和純氫氣，可以采用氮氫混合氣來代替。

5. 手動運行儀器時，一定要保證艙體內真空度達到標準（60Pa）后方可通入外加氣體，給入射頻等操作。

6. 盡量避免使用一些特殊氣體，如四氟化碳，因為長時間使用，會導致碳元素大量附著在電極板，導致儀器效率下降，如果必須使用的話，建議采購石英艙體電感式儀器。

7. 采用浮子流量計進氣時，盡量做到進氣和抽氣達到一個動態平衡，通過手動調節流量計的進氣旋鈕來實現。

8. 外接進氣鋼瓶的進氣壓力控制在0.1-0.3Mpa,直接進入空氣的忽略此參數。

9. 常規儀器清潔使用酒精擦拭或者紫外照射即可。

10. 使用一段時間后，注意觀察真空泵的真空油位和渾濁程度，如果發現真空由過少或者渾濁請及時添加或者更換真空油。

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