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氦質(zhì)譜檢漏儀分子泵維修案例

閱讀:1009      發(fā)布時(shí)間:2023-11-13
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氦質(zhì)譜檢漏儀分子泵維修故障及處理

  1、儀器界面上TMP顯示“0"即分子泵沒(méi)有工作

  有可能是前級(jí)壓力過(guò)高(該分子泵的啟動(dòng)壓力為200Pa)導(dǎo)致分子泵無(wú)法啟動(dòng)。檢查導(dǎo)致壓力過(guò)高的項(xiàng)目有:真空規(guī)管是否有問(wèn)題,分子泵出口是否打開(kāi),機(jī)械泵油是否太臟或機(jī)械泵是否轉(zhuǎn)動(dòng),系統(tǒng)是否有泄漏。也有可能是分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子被損害,可自行用工具撥動(dòng)葉片,判斷其能否轉(zhuǎn)動(dòng)。

  2、分子泵加速指示燈不亮

  電路板上的保險(xiǎn)絲燒斷,更換保險(xiǎn)絲或檢查是否有短路現(xiàn)象。

  3、分子泵故障燈亮

  檢查電路板設(shè)置開(kāi)關(guān)是否處于R位置,此時(shí)應(yīng)該在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止,如風(fēng)扇正常,則可能為氦質(zhì)譜檢漏儀分子泵電源故障

 

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