通過壓頭對材料表面加載，然后測出壓痕區域，以此來評價材料機械性能的技術，我們稱之為壓痕技術。傳統的壓痕方法是采用一定形狀的壓頭在一定壓力的作用下壓入被測樣品，保持一段時間后卸載，然后用標尺或顯微鏡測出壓頭在材料表面留下的壓痕半徑或對角線長度，以此計算材料力學性能參數值，如硬度。這種測量方法直接、簡單，但是分辨率較低，即使采用透射電子顯微鏡等高精度儀器也只能測得壓深不小于10um情況下的硬度。而且此方法壓痕尺度較大，不適于測試膜厚較小(<2 um )的薄膜材料的性能。

另外，此方法是先加載，后離線測量，這樣得到的僅為材料的塑性性能。隨著現代微電子材料科學的發展，試樣尺寸越來越小型化，傳統的壓痕測試技術已經無法滿足新材料的需要。此外，材料科學家們不僅要了解材料的塑性性質，而且需要掌握材料的彈性性質。

納米壓痕技術又稱深度敏感壓痕技術，它是通過計算機控制載荷連續變化，并在線監測壓深量，由于施加的是超低載荷，加上監測傳感器具有優于Inm的位移分辨率，所以可以獲得小到納米級(O.1nm~100nm)的壓深，適用于超薄層材料性能的測試。

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Hugetall三菱錐壓頭技術參數

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