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美國萊特浩斯HPC1100高壓控制器優(yōu)點和應用范圍

閱讀:984      發(fā)布時間:2023-10-7
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美國萊特浩斯HPC1100高壓控制器優(yōu)點和應用范圍  產(chǎn)品介紹:

5138.jpg

HPC 1100 高壓控制器采用的新設(shè)計理念和技術(shù),與萊特浩斯 0.1μm 的粒子計數(shù)器配合,監(jiān)測高壓環(huán)境(30 到 150PSI)下的惰性氣體系統(tǒng)的工業(yè)氣體污染。


應用:

過程認證

半導體工藝監(jiān)測

平板過程監(jiān)控

過程趨勢分析


優(yōu)點:

在正常操作期間零浪費惰性氣體

輸出壓力接近大氣壓力

低噪聲

小尺寸

易于系統(tǒng)集成

支持0.1μm靈敏度、1立方英尺流量(28.3L/min)的塵埃粒子計數(shù)器

可用于任何惰性氣體

容易設(shè)置

安裝簡單

前裝式流量計

直觀的用戶控制

安靜的操作

快速吹掃和清理

內(nèi)部和外部VCR接頭

不銹鋼結(jié)構(gòu)


技術(shù)參數(shù):



氣體粒徑范圍:0.1μm或更大的

流量范圍:1立方英尺(28.3L/min)

輸出壓力: 接近大氣壓

輸入壓力:30-150 psi

兼容的氣體:氮,氬,氦,CDA

運行時的噪聲水平:< 60分貝

外殼:不銹鋼




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