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布魯克光學輪廓儀ContourX-500是世界上全面的快速,非接觸式3D表面計量自動化臺式系統。該系統集成了布魯克專有的自動傾斜光學測頭,可以*編程并自動測試一定角度范圍內的表面特征,并能減少跟蹤誤差。
滿足計量要求,具有高Z軸分辨率和準確性,并在更小的占地面積內提供了布魯克的白光干涉儀落地式型號所有業(yè)界*的優(yōu)點。
借助其新的USI通用掃描模式,本產品可以輕松地針對各種復雜應用場景定制分析方法。這些場景涵蓋了從精密加工表面和半導體工藝制程,到眼科和MEMS器件的R&D表征。
布魯克光學輪廓儀ContourX-500
高級自動化功能
專有的自動傾斜測頭為生產和監(jiān)測提供了靈活性。通過將自動傾斜測頭與光學裝置耦合在顯微鏡上,布魯克實現了測試位置不受傾斜角度影響的測量。進一步結合自動樣品臺和物鏡塔臺,使得ContourX-500非常適合“按需測量"工業(yè)要求,且占用空間小。
先進的臺式三維形貌計量設備
與放大倍率無關的Z軸分辨率
自動化功能,包含帶編碼器的XY軸樣品臺、自動測頭傾斜和自動亮度調整
更緊湊的氣動減震臺設計
測量與分析功能
易于使用的界面,可快速準確地獲得結果
廣泛的自動化功能,可量身定制測量和分析程序
*泛的濾鏡和分析工具
滿足包括ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287等標準在內的定制化分析報告
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