ICP光譜儀主要有兩種校正方法：分析校正和波長校正。
(1)分析校正
分析校正是為了讓所測元素濃度與儀器所檢測到的光強度建立起，就是我們常說的做標準曲線，輸^事先配好的標樣值，再讓ICP光譜儀對其進行檢測，讓檢測值與濃度之間建立起關系曲線，未知樣品濃度按照該曲線及所；剛得濃度值得出。在ICP—OES的分馓正中，檢測值與濃度之間—般是線性關系。在實際工作中，存在其他元素峰對所測元素峰有干擾的情況時，可以通過調節計算方法及火焰觀測方式來減小誤差，提高線性相關系數。這里需要說明線性相關系數是度的必要不充分條件。
（2）波長校正
波長校正是為使實際波長同檢測器檢出波長相一致。大致可分為兩分部：首先通調整儀器來對光譜儀進行校正，然后是通過漂移補償的辦法減少因環境的變換導致譜線產生位移。光譜校正是儀器實際測得的波長與理論波長之間出現的偏差別進行的校正，一般是通過測試一系列元素的波長來進行校正，校正后所得數據即為對光譜彼進行校正的校正數據。漂移補嘗是因為光普儀光譜線位移與波長、溫度、濕度、壓力變化之間有非線性函數關系，這種函數關系具有普遍適用性。其中零級光譜線隨波長、溫度變化產生的位移zui大。漂移補償是一種常規監視過程，其原理是在進樣間歇期間，監測多條氫線波長，將實際值與理論值相比較，并對誤差進行補償
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