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北京中慧天誠科技有限公司

箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機適用于制備導(dǎo)電薄膜

時間:2016-8-22閱讀:321
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箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機 型號:YQDH-500ZZS 貨號:ZH5496 
產(chǎn)品簡介
  適用于制備導(dǎo)電薄膜,半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、光學(xué)薄膜,薄膜研究及新材料工作。其主要特點為功能強、鍍膜穩(wěn)定、重復(fù)性好、操作簡便。
主要參數(shù)
1、鍍膜室體積:500×500×600mm3,規(guī)格可定做;
2、限真空度:6.7×10-5 Pa,恢復(fù)真空:從大氣抽至6.7×10-4 Pa ≤(40分鐘);
3、真空抽氣系統(tǒng):機械泵與復(fù)合分子泵組成;真空測量系統(tǒng):復(fù)合數(shù)顯真空計;
4、蒸發(fā)源:電子束蒸發(fā)源:270°E型電子槍及高壓電源,電子槍功率0~6KW可調(diào);
           電阻蒸發(fā)源:銅水冷電4根,功率:3kW/10V兩組;
5、結(jié)構(gòu)形式:立式前開門后置抽氣系統(tǒng);
6、工件烘烤溫度:室溫~800℃可控可調(diào)(PID控溫);
7、旋轉(zhuǎn)夾具:公轉(zhuǎn)或行星公自轉(zhuǎn)夾具。速度從 0r~30r/min 可調(diào);
8、選配件:光學(xué)膜厚測量系統(tǒng)、石英晶振測厚儀、高壓離子轟擊、霍爾離子源、冷卻水機組等;
9、供電電源:三相AC380V,50Hz;整機功率22KW。
 

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