T/FJAS 002-2024 濕電子化學品 再生光阻洗凈液
范圍
本文件規定了再生光阻洗凈液的技術要求、試驗方法、檢驗規則及標志、包裝、運輸和貯存。
本文件適用于以濕電子化學品行業含光阻洗凈液回收液為原料，經過提純的光阻洗凈液再生產品(以下簡稱產品)，主要用于顯示面板制造行業等。
術語和定義
下列術語和定義適用于本文件。
濕電子化學品 wet chemicals
濕電子化學品又稱超凈高純電子化學品，是微電子、光電子濕法工藝(主要包括濕法刻蝕、清洗、顯影、剝離等環節)中使用的各種液體化工材料。
光阻洗凈液 Light blocking cleaning solution
光阻去除液、清洗劑，主要成分丙二醇甲醚(PM)和丙二醇甲醚醋酸酯(PMA)。
回收液 Iiquid recycIing
主要含主要丙二醇甲醚和丙二醇甲醚醋酸酯，以及少量其它有機溶劑、光刻膠、水、金屬離子等。
技術要求
產品的技術指標應符合表1的要求。
試驗方法
水分的測定
按 GB/T 6283 的規定進行測定。
GB/T 6283-2008 化工產品中水分含量的測定 卡爾·費休法(通用方法)
京都電子KEM 卡爾費休水分測定儀 MKV-710S
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