電子汽車衡傳感器與智能壓力/差壓變送器

微電子技術(shù)的迅猛發(fā)展，促進了微機械加工技術(shù)的日益更新，它已引伸到儀表領(lǐng)域，奠定了現(xiàn)代傳感器技術(shù)的基礎(chǔ)，推動著全新的電子汽車衡傳感器和集成化智能變送器的發(fā)展和實用化，現(xiàn)已取得了引人注目的成果。電子汽車衡傳感器與傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)型傳感器相比較，在技術(shù)和性能上發(fā)生了質(zhì)的變化，它使傳感器技術(shù)向微型化、高度、低功耗、智能化方向邁出了一大步，這標志著檢測傳感器與變送器將發(fā)生一場劃時代的變革。近年來，多種微結(jié)構(gòu)的電子地磅硅傳感器已被開發(fā)出來并投入生產(chǎn)應(yīng)用，如微型伺服加速度計，微結(jié)構(gòu)加速度開關(guān)，微硅諧振式壓力傳感器、微硅復(fù)合應(yīng)變壓力傳感器、微硅質(zhì)量流量計等。人們預(yù)測，采用微機械加工技術(shù)可以生產(chǎn)出各種微結(jié)構(gòu)傳感器，在此基礎(chǔ)上再實現(xiàn)傳感器與微處理器的集成化，就可設(shè)計出新一代數(shù)字式智能變送器。