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技術文章
8921SC13型美國BIRD油射線RF終止負載產品規格
點擊次數:45 發布時間:2025-5-20
8921SC13型美國BIRD油射線RF終止負載以實現最大的過程可重復性和一致性,現代等離子體應用需要精確的RF功率調節和控制。確保準確且可重復的RF電源到腔室的關鍵組件是RF發電機的校準,調節和監視。現在,Bird提供超穩的低VSWR負載,可快速,精確地測量發電機功率輸出時,與精確的功率傳感器(例如Bird 4020系列)一起使用。 8921SC13不僅提供較低的VSWR,而且在臨界頻率下VSWR的VSWR總變化少于0.1 dB。由于校準不同的時間長度,不需要負載熱身或重復性風險。這可以大程度地減少與此校準相關的錯誤,并控制更關鍵的過程變量之一。
8921SC13型美國BIRD油射線RF終止負載產品規格如下:
電力等級5 kW頻率范圍和VSWRDC至28 MHz @ 1.1最大。
VSWR小于1.05:1阻抗ω50(名義)VSWR穩定性<0.1 dB,穩定頻率下的額定功率從0到100%穩定頻率13.56 MHz±10 kHz連接器“ QC"類型LC(女性) - 通常提供互鎖熱開關 - 可選通常關閉。在236°C(457°F)處打開熱開關等級115 VAC,10 A
230 VAC,5 A溫度范圍操作: +5至+40°C(+41至+104°F)
存儲: - 40至+45°C( - 40至40至+113°F)高度1520 m(5000英尺)濕度95%的無調最大。冷卻方法油介電和對流電流方面32.8“ x 9.5" x 26.9“
832 x 241 x 681 mm重量126磅。
57公斤結束黑色環氧樹脂