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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>光刻及涂膠顯影設備>勻膠機>MSC系列 勻膠機

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MSC系列 勻膠機

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     合肥重光電子科技有限公司是一家專業從事儀器設備的生產商。針對國家大力扶持的太陽能電池和半導體等科技領域。

        我司有專業的檢測儀器和工藝實驗設備,能夠滿足不同客戶的打樣和定制化需求。同時我司與中國科學技術大學微納加工平臺、合肥工業大學微納加工平臺保持技術上的交流,能有效幫助客戶解決工藝問題。

        我司提供產品的定制化代工業務,滿足客戶對自營品牌的需求,讓客戶從而實現資產輕量化運營。

        ‍‍我司產品優勢:提供定制化服務,滿足客戶多樣化需求,從而為客戶節約更多科研經費。其中低速勻膠平穩,結束低粘度光阻勻膠依賴進口品牌。

 

 

 

勻膠、熱板、顯影、等離子、光刻設備

勻膠機產品特點:

桌上型旋轉涂布機外觀鏡面不銹鋼,腔體PTFE材質,核心部件進口品牌,板件和機加用料扎實,使整機環保、穩定、皮實、耐用和更有高級感。

均勻性高:可達1%以內,減少因設備性能不足導致實驗數據偏差過大,從而影響整個工藝。

安全性高:電氣獨立集成機身側面,避免因腔體漏液到設備內部導致短路風險,真空負壓數值顯示和低真空報警,避免因負壓不足帶來飛片風險。

性價比高:真材實料,核心部件均為進口,用心做好每一款產品。

勻膠機產品參數:

 

桌上型旋轉涂布機

供電電壓

AC220V,50Hz

操作方式

7寸觸摸屏

轉速

20~10000rpm

滴膠方式

手動滴膠

加速度

350~10000rpm/s

編程

可編程50組20步

減速度

350~10000rpm/s

均勻性

1%

轉速分辨率

1rpm

抽氣接口

φ6mm快擰接口

單步時間

3000s

整機尺寸

500mm×500mm×320mm

基片尺寸

直徑≤8英寸(200mm)

整機重量

40kg

腔體材質

PTFE

核心部件品牌

松下、西門子、威綸通、三洋、SMC、明緯等

排氣系統

真空泵

干式機械泵

 

抽氣速率

50L/min

 

供電電源

AC220V 50/60Hz

 

 

更多選擇可咨詢,如嵌入式設計、方片吸盤的定制等。



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