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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>工藝測量和檢測設備>關鍵尺寸測量設備>SAM Premium 超聲掃描顯微鏡

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SAM Premium 超聲掃描顯微鏡

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

1.產品概述:

PVA TePla 超聲掃描顯微鏡SAM Premium系列結合了聲學顯微鏡和光學顯微鏡。它使超聲掃描平臺與倒置光學顯微鏡或反射式光學顯微鏡相結合。SAM Premium系列所使用的技術是以融合了生產和研究技術的核心平臺為基礎。SAM Premium系列旗下各個系統均具有高產量、高靈活性和寬廣的掃描范圍等特性。此外,各系統還可以根據客戶的要求進行擴展,并用于多樣化的應用。

2.產品優勢

高頻和換能器技術:高頻和換能器技術可支持各類特定研究和工業應用,其中高頻范圍可高達400 MHz,并提供5 MHz和400 MHz之間的可選擇頻率范圍。此外,每個換能器都配備了門的自動對焦功能。其特征在于,該系統可通過特殊的音爆高頻單元升到1000MHz的聲學成像。

一直以來,PVA TePla致力于為企業客戶及科研單位提供無損檢測設備,滿足客戶要求。目,我們的SAM系列應用于工業域及多個高科技行業,如半導體行業、電子/電氣行業等等

3.產品工藝

X和Y方向的掃描范圍可以單獨自定義,可選擇以下掃描范圍配置:        

250µm x 250µm到320mm x 320mm

250µm x 250µm到502mm x 502mm

HiSA(高速掃描軸)、或動態穿透式掃描等,可實現高性能掃描成像結果。HiSA(高速掃描軸)跟隨樣品弓形,具有動態聚焦功能。動態穿透式掃描可在25MHz至100MHz的頻率范圍內使用。





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