1. 產品概述

SENTECH SE 500adv結合了橢圓偏振法和反射法，消除了測量透明薄膜層厚的模糊性。它將可測量的厚度擴展到 25 μm。因此，SE 500adv 擴展了標準激光橢偏儀 SE 400adv 的功能，特別適用于分析較厚的電介質、有機材料、光刻膠、硅和多晶硅薄膜。

2. 主要功能與優勢

明確的厚度測定

橢圓偏振法和反射法的結合允許通過自動識別循環厚度周期來快速、明確地確定透明薄膜的厚度。

大的測量范圍

激光橢偏儀和反射儀的結合將透明薄膜的厚度范圍擴展到 25 μm 或更多，具體取決于所選的光度計選項。

突破激光橢圓偏振儀的限

多角度手動測角儀具有優秀的性能和角度精度，可以測量單片和層疊的折射率、消光系數和膜厚。 

3. 靈活性和模塊化

SENTECH SE 500adv 可用作激光橢偏儀、膜厚探頭和 CER 橢偏儀。因此，它提供了標準激光橢偏儀無法達到的大靈活性。作為橢圓儀操作，可以執行單角度和多角度測量。當作為膜厚探頭操作時，透明或弱吸收膜的厚度是在正常入射下測量的。

SE 500adv 中的橢圓偏振法和反射儀 （CER） 組合包括橢偏儀光學元件、測角儀、組合反射測量頭和自動準直望遠鏡、樣品平臺、氦氖激光源、激光檢測單元和光度計。