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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>工藝測量和檢測設備>光學薄膜測量設備>FTPadv Expert 薄膜計量光譜反射儀軟件

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FTPadv Expert 薄膜計量光譜反射儀軟件

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薄膜計量

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

1. 產品概述

FTPadv Expert薄膜測量軟件具有FTPadv標準軟件中包含的用戶友好和以配方為導向的操作概念。突出顯示擬合參數、測量和計算的反射光譜以及主要結果的光學模型同時顯示在操作屏幕上。

2. 主要功能與優勢

n、k 和厚度的測量

該軟件包設計用于 R(λ) 和 T(λ) 測量的高分析。

多層分析

可以測量單層薄膜和層疊的每一層的薄膜厚度和折射率。

大量的色散模型

集成色散模型用于描述所有常見材料的光學特性。通過使用快速擬合算法改變模型參數,將計算出的光譜調整為測量的光譜。

3. 靈活性和模塊化

SENTECH FTPadv Expert 軟件包用于光譜數據的高分析,根據反射和透射測量結果確定薄膜厚度、折射率和消光系數。它擴展了SENTECH FTPadv薄膜厚度探頭的標準軟件包,適用于更復雜的應用,包括光學特性未知或不穩定的材料。可以在光滑或粗糙、透明或吸收性基材上測量單個透明或半透明薄膜的薄膜厚度、折射率和消光系數。該軟件允許分析復雜的層堆棧,并且可以確定堆棧的每一層的參數。

我們的FTPadv Expert薄膜測量軟件具有FTPadv標準軟件中包含的用戶友好和以配方為導向的操作概念。突出顯示擬合參數、測量和計算的反射光譜以及主要結果的光學模型同時顯示在操作屏幕上。

該軟件包包括一個大型且可擴展的材料庫,該庫基于表格材料文件以及參數化色散模型。

FTPadv Expert 軟件可選用于膜厚探頭 FTPadv,以及反射儀 RM 1000 和 RM 2000 軟件包的一部分



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