化工儀器網手機版
移動端訪問更便捷
《表面化學分析-二次離子質譜-硅中硼的深度剖析方法》意見征求
2020年04月24日 08:37:37
來源：化工儀器網 點擊量：5158
在中國電子科技集團公司第四十六研究所起草工作組對標準進行討論和完善后，《表面化學分析-二次離子質譜-硅中硼的深度剖析方法》已于近日編制完成，并正面向社會征求意見。
【化工儀器網 政策標準】硼是半導體硅材料中的一種重要P型雜質元素，其在硅中濃度分布直接影響到硅材料及器件的性能，而二次離子質譜分析具有高靈敏度和較好的深度分辨本領，是檢測硅中硼濃度隨深度分布的有效手段。基于二次離子質譜的優良檢測性能，ISO 17560-2014《表面化學分析-二次離子質譜-硅中硼深度剖析方法》早已發布。為了與接軌并促進國內相關技術的提升，促使我國二次離子質譜定量分析技術規范化，全國微束分析技術委員會表面分析分技術委員會提出將該標準轉化為國家標準。
在中國電子科技集團公司第四十六研究所起草工作組對標準進行討論和完善后，《表面化學分析-二次離子質譜-硅中硼的深度剖析方法》已于近日編制完成，并正面向社會征求意見。
據悉，該標準是依據GB/T 1.1-2009《標準化工作導則 第1部分：標準的結構和編寫》和GB/T 20000.2-2009《標準化工作指南 第2部分：采用標準》等進行編制的，引用了GB/T 20176-2006《表面化學分析-二次離子質譜-二次離子質譜用均勻摻雜物測定硅中硼的原子濃度》、GB/T22461-2008《表面化學分析-詞匯》，規定了用扇形磁場或四極桿式二次離子質譜儀對硅中硼進行深度剖析的方法，以及用觸針式輪廓儀或光學干涉儀深度定標的方法。
閱讀標準征求意見稿后可知，標準中規定的方法原理是用氧或銫離子束掃描樣品表面，將在離子束掃描范圍內一定窗口區域濺射出的硼和硅二次離子引出，對其進行質量分析和檢測，將監測的信號強度作為濺射時間的函數。使用觸針式輪廓儀或光學干涉儀，測量出離子束濺射形成坑的深度，以此標定深度。而實驗需要的儀器有二次離子質譜儀、觸針式輪廓儀和光學干涉儀。值得注意的是，實驗過程中，在樣品即將引入SIMS儀器前，應該用高純壓縮氣體吹去樣品表面的塵埃，待樣品引入分析室后，直到真空度恢復到廠商或當地成文的步驟推薦的正常值時，分析才可以開始。
按照本標準測試，可得到硼在硅中濃度隨深度分布直接、準確的定量測試結果，不但可以用于檢驗晶片質量，還可以有效的監控外延、離子注入、擴散、退火等器件工藝，這對于半導體領域科研生產有著重要意義。為此，希望相關單位在仔細研核后提出建設性意見，以提高標準的科學性和嚴謹性。
更多詳情請點擊：《表面化學分析-二次離子質譜-硅中硼的深度剖析方法》
相關閱讀 Related Reading
查看更多+-
2025年6月27日14:00，為助力每一份科研熱情綻放耀眼火花，化工儀器網特推出“2025夏季儀器采購節”。2025-06-23 10:26:37
-
近日，江西省生態環境監測中心就“江西省生態環境監測中心“監測能力建設(二期)項目”新污染物調查監測能力采購項目A包”發布公開招標公...2025-06-23 10:12:58
-
截至目前，內蒙古藥檢院已有135臺（套）、涵蓋61類設備納入“內蒙古自治區大型科研儀器開放共享平臺”，包括高效液相色譜儀、質譜儀、...2025-06-23 10:10:58
-
近日，紹興市婦幼保健院委托浙江翔實建設項目管理有限公司組織公開招標，采購質譜儀(含氮氣發光器、樣本前處理)，預算380萬元。2025-06-23 09:42:21
-
農業農村部重磅發布62項新行業標準 聚焦農產品安全與綠色技術升級
農業農村部近日重磅發布62項全新農業行業標準，將于2025年8月1日起正式實施。其中23項聚焦檢驗檢測技術革新，涵蓋特色農產品精準...2025-06-20 14:45:16 -
預算220萬元 漢中市食品藥品監督檢驗檢測中心采購液質聯用儀
近日，漢中市食品藥品監督檢驗檢測中心公開招標購置液質聯用儀，項目編號ZYTT2025-HZ014，預算220萬元。2025-06-20 10:03:09
版權與免責聲明
- ①凡本網注明“來源：化工儀器網”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品，未經本網授權不得轉載、摘編或利用其他方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的，應在授權范圍內使用，并注明“來源：化工儀器網”。違反上述聲明者，本網將追究其相關法律責任。
- ②本網轉載并注明自其他來源（非化工儀器網）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時，必須保留本網注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
- ③如涉及作品內容、版權等問題，請在作品發表之日起一周內與本網聯系，否則視為放棄相關權利。
